碳化硅懸臂漿，碳化硅擴(kuò)散槳，設(shè)計(jì)特點(diǎn)：1、在高溫環(huán)境下不變形，晶片裝載力大；2、耐極冷急熱，使用壽命長(zhǎng)；3、懸臂漿熱膨脹系數(shù)極小，延長(zhǎng)了維護(hù)清洗的周期；并大幅減少污染物。應(yīng)用在擴(kuò)散爐中對(duì)多晶硅硅片或單晶硅硅片的（擴(kuò)散）涂層過(guò)程中，對(duì)硅片在高溫環(huán)境中（1000---1300℃）的承載輸送作用，是半導(dǎo)體晶圓裝載系統(tǒng)的關(guān)鍵部件。常規(guī)尺寸有2378毫米，2550毫米，2660毫米等。