高水質(zhì)保障：能生產(chǎn)出電阻率高達 18MΩ・cm 以上，總有機碳（TOC）含量低于 5ppb，顆粒計數(shù)達到每毫升個位數(shù)甚至更低水平的超純水，滿足晶圓清洗對水質(zhì)的極高要求。

自動化程度高：配備先進的 PLC 控制系統(tǒng)，可實時監(jiān)測和控制水質(zhì)、壓力、流量、溫度等參數(shù)，實現(xiàn)自動運行、自動調(diào)節(jié)、自動保護和故障報警，減少人工操作和維護成本。

穩(wěn)定可靠運行：采用高品質(zhì)的膜組件、泵、閥門等關(guān)鍵部件，經(jīng)過嚴格的設計和測試，設備運行穩(wěn)定可靠，能夠長時間連續(xù)供應高質(zhì)量的超純水，確保晶圓清洗工藝的連續(xù)性。

靈活定制化：可根據(jù)不同的生產(chǎn)規(guī)模、水質(zhì)要求和工藝需求，進行模塊化設計和定制化配置，方便設備的安裝、調(diào)試和擴展。

節(jié)能環(huán)保：采用節(jié)能型泵和優(yōu)化的工藝流程，降低能耗；同時，EDI 技術(shù)的應用減少了酸堿廢水的排放，符合環(huán)保要求。