UK MICRON OPTOELECTRONICS推出U-III表面粒子計(jì)數(shù)器：突破0.1微米檢測(cè)極限，重新定義半導(dǎo)體潔凈度標(biāo)準(zhǔn)。

2025年3月6日——全球領(lǐng)先的光電技術(shù)企業(yè)UK MICRON OPTOELECTRONICS正式發(fā)布全新升級(jí)的U-III表面粒子計(jì)數(shù)器。該產(chǎn)品專為高潔凈度制造場景設(shè)計(jì)，采用革命性激光傳感技術(shù)與智能采樣系統(tǒng)，可精準(zhǔn)檢測(cè)0.1微米級(jí)表面顆粒污染，助力半導(dǎo)體、液晶面板及精密電子行業(yè)實(shí)現(xiàn)更高良率與可靠性。

該系列設(shè)備通過量化表面污染數(shù)據(jù)，為半導(dǎo)體制造中的過程控制提供標(biāo)準(zhǔn)化依據(jù)，從而優(yōu)化生產(chǎn)良率和產(chǎn)品可靠性。

傳感器：第七代雙激光窄光檢測(cè)器，壽命>200000次

測(cè)量粒徑：A 0.3um、2.5um、10um；

        B 0.3um、(0.5/1.0/2.5/5.0)um、10um；

        C 0.3um、0.5um、1.0um、2.5um、5.0m、10um；

        D 0.5um、1.0um、1.5um、2.0um、2.5um、3.0um；

        E 0.5um、1.0um、3.0um、5.0um、10.0um、25.0um；

        F 0.10um、0.2um、0.25um、0.5um、0.7um、1.0 μm;

粒徑分布誤差：≤±30%

濃度示值誤差：≤±30%

重復(fù)相對(duì)偏差：≤±10%FS

重疊誤差：當(dāng)每立方英尺2,000,000個(gè)粒子時(shí)小于5%

氣體檢測(cè)：可同時(shí)檢測(cè)氣體濃度，支持1-3個(gè)各種類型的氣體傳感器

溫度范圍：-40 ～ 120℃

檢定標(biāo)準(zhǔn)：計(jì)數(shù)報(bào)告符合GB/T及ISO14644-1標(biāo)準(zhǔn)或GB/T6167-2007 JJF1190-2008

氣泵流速：2.83L/min，28.3L/min（可選）；

采樣時(shí)間：3、6、9、12、15、30、60秒（可選）；

檢測(cè)模式：數(shù)量模式；質(zhì)量模式； 凈效模式；三種檢測(cè)模式可切換

檢測(cè)方式：定時(shí)檢測(cè)、循環(huán)檢測(cè)可設(shè)置     

報(bào)警方式：自定義數(shù)量報(bào)警值、質(zhì)量報(bào)警值

限值報(bào)警：RS485信號(hào)報(bào)警或外接聲光報(bào)警器

法 規(guī) 性：權(quán)限管控、審計(jì)追蹤、電子記錄等

合 規(guī) 性：符合ISO 21501-4，CE，JIS B9921