U-III表面顆粒計數(shù)器搭載HeNe激光傳感器，分辨率達(dá)0.1微米，支持0.1-5.0微米顆粒粒徑的六通道分類統(tǒng)計（0.1/0.2/0.3/1.0/3.0/5.0μm），覆蓋半導(dǎo)體制造中對超細(xì)微粒的嚴(yán)苛檢測需求。

靜態(tài)采樣模式：通過優(yōu)化氣流控制，減少測量誤差，提升數(shù)據(jù)穩(wěn)定性。

智能化設(shè)計與操作體驗

7英寸高分辨率觸控屏：支持實(shí)時數(shù)據(jù)可視化與交互操作，簡化流程。

雙電池?zé)岵灏蜗到y(tǒng)‌：支持連續(xù)生產(chǎn)場景下的不間斷作業(yè)，電池更換無需停機(jī)。

USB數(shù)據(jù)接口與軟件升級‌：便捷導(dǎo)出檢測報告，并可通過固件更新持續(xù)優(yōu)化性能。

行業(yè)應(yīng)用與效益

提升制造效率

減少50%自凈時間‌：通過量化表面污染數(shù)據(jù)，縮短設(shè)備維護(hù)周期（PM周期），提升產(chǎn)線吞吐量。

延長MTBC（平均無故障周期）：結(jié)合顆�？刂撇呗�，關(guān)鍵設(shè)備可靠性提升4倍以上。

覆蓋高潔凈場景

半導(dǎo)體制造：晶圓表面、機(jī)臺內(nèi)腔等關(guān)鍵區(qū)域的潔凈度驗證。

精密光學(xué)與電子：液晶面板、光學(xué)鏡片組件、醫(yī)療器械的表面污染控制。

符合國際標(biāo)準(zhǔn)

產(chǎn)品嚴(yán)格遵循ISO-14644-9表面粒子控制規(guī)范，為全球半導(dǎo)體廠商提供標(biāo)準(zhǔn)化檢測工具。