UK MICRON OPTOELECTRONICS推出U-III表面粒子計數(shù)器：突破0.1微米檢測極限，重新定義半導體潔凈度標準。
2025年3月6日——全球領(lǐng)先的光電技術(shù)企業(yè)UK MICRON OPTOELECTRONICS正式發(fā)布全新升級的U-III表面粒子計數(shù)器。該產(chǎn)品專為高潔凈度制造場景設(shè)計，采用革命性激光傳感技術(shù)與智能采樣系統(tǒng)，可精準檢測0.1微米級表面顆粒污染，助力半導體、液晶面板及精密電子行業(yè)實現(xiàn)更高良率與可靠性。
該系列設(shè)備通過量化表面污染數(shù)據(jù)，為半導體制造中的過程控制提供標準化依據(jù)，從而優(yōu)化生產(chǎn)良率和產(chǎn)品可靠性。
傳感器：第七代雙激光窄光檢測器，壽命>200000次
測量粒徑：A 0.3um、2.5um、10um；
B 0.3um、(0.5/1.0/2.5/5.0)um、10um；
C 0.3um、0.5um、1.0um、2.5um、5.0m、10um；
D 0.5um、1.0um、1.5um、2.0um、2.5um、3.0um；
E 0.5um、1.0um、3.0um、5.0um、10.0um、25.0um；
F 0.10um、0.2um、0.25um、0.5um、0.7um、1.0 μm;
粒徑分布誤差：≤±30%
濃度示值誤差：≤±30%
重復相對偏差：≤±10%FS
重疊誤差：當每立方英尺2,000,000個粒子時小于5%
氣體檢測：可同時檢測氣體濃度，支持1-3個各種類型的氣體傳感器
溫度范圍：-40 ～ 120℃
檢定標準：計數(shù)報告符合GB/T及ISO14644-1標準或GB/T6167-2007 JJF1190-2008
氣泵流速：2.83L/min，28.3L/min（可選）；
采樣時間：3、6、9、12、15、30、60秒（可選）；
檢測模式：數(shù)量模式；質(zhì)量模式； 凈效模式；三種檢測模式可切換
檢測方式：定時檢測、循環(huán)檢測可設(shè)置
報警方式：自定義數(shù)量報警值、質(zhì)量報警值
限值報警：RS485信號報警或外接聲光報警器
法 規(guī) 性：權(quán)限管控、審計追蹤、電子記錄等
