英微米表面顆粒檢測(cè)儀U-III基于激光光學(xué)傳感器和光散射原理，實(shí)時(shí)捕獲懸浮粒子的散射光信號(hào)，實(shí)現(xiàn)單個(gè)粒子尺寸的精確分析。采用先進(jìn)界面技術(shù)，通過物理或氣流方式將附著在關(guān)鍵表面的顆粒重新懸浮，便于后續(xù)檢測(cè)。

該系列設(shè)備通過量化表面污染數(shù)據(jù)，為半導(dǎo)體制造中的過程控制提供標(biāo)準(zhǔn)化依據(jù)，從而優(yōu)化生產(chǎn)良率和產(chǎn)品可靠性。

傳感器：第七代雙激光窄光檢測(cè)器，壽命>200000次

測(cè)量粒徑：A 0.3um、2.5um、10um；

        B 0.3um、(0.5/1.0/2.5/5.0)um、10um；

        C 0.3um、0.5um、1.0um、2.5um、5.0m、10um；

        D 0.5um、1.0um、1.5um、2.0um、2.5um、3.0um；

        E 0.5um、1.0um、3.0um、5.0um、10.0um、25.0um；

        F 0.10um、0.2um、0.25um、0.5um、0.7um、1.0 μm;

粒徑分布誤差：≤±30%

濃度示值誤差：≤±30%

重復(fù)相對(duì)偏差：≤±10%FS

重疊誤差：當(dāng)每立方英尺2,000,000個(gè)粒子時(shí)小于5%

氣體檢測(cè)：可同時(shí)檢測(cè)氣體濃度，支持1-3個(gè)各種類型的氣體傳感器

溫度范圍：-40 ～ 120℃

檢定標(biāo)準(zhǔn)：計(jì)數(shù)報(bào)告符合GB/T及ISO14644-1標(biāo)準(zhǔn)或GB/T6167-2007 JJF1190-2008

氣泵流速：2.83L/min，28.3L/min（可選）；

采樣時(shí)間：3、6、9、12、15、30、60秒（可選）；

檢測(cè)模式：數(shù)量模式；質(zhì)量模式； 凈效模式；三種檢測(cè)模式可切換

檢測(cè)方式：定時(shí)檢測(cè)、循環(huán)檢測(cè)可設(shè)置     

報(bào)警方式：自定義數(shù)量報(bào)警值、質(zhì)量報(bào)警值

限值報(bào)警：RS485信號(hào)報(bào)警或外接聲光報(bào)警器

法 規(guī) 性：權(quán)限管控、審計(jì)追蹤、電子記錄等

合 規(guī) 性：符合ISO 21501-4，CE，JIS B9921

合 規(guī) 性：符合21 CFR Part 11

通訊接口：RS232、R485、LAN-USB

存儲(chǔ)模式：實(shí)時(shí)存儲(chǔ)、定時(shí)存儲(chǔ)可設(shè)置；可存儲(chǔ)數(shù)據(jù)無限制