作為直線電機源頭生產(chǎn)廠家，漢諾深耕行業(yè) 25 年，專注高精密高穩(wěn)定性直線電機模組平臺研發(fā)定制生產(chǎn)，其 EFEM 晶圓傳輸系統(tǒng)在行業(yè)內(nèi)頗具競爭力，優(yōu)勢體現(xiàn)在多個方面。
漢諾的 EFEM 晶圓傳輸系統(tǒng)依托公司強大的技術(shù)積累和生產(chǎn)實力。公司擁有一萬五千平研發(fā)生產(chǎn)車間，推行完備的 6S 生產(chǎn)管理，從生產(chǎn)環(huán)境到流程都有嚴(yán)格規(guī)范，為產(chǎn)品品質(zhì)打下堅實基礎(chǔ)。多名十年以上裝配經(jīng)驗的高級技工參與制作，確保每一個部件的裝配精度，讓系統(tǒng)在運行中更穩(wěn)定可靠。
在精度控制上，EFEM 晶圓傳輸系統(tǒng)表現(xiàn)出色。漢諾配備多臺高精密檢測設(shè)備，包括 10 臺雷尼紹激光干涉儀、準(zhǔn)直儀、激光多普勒分析儀等，對系統(tǒng)進(jìn)行全方位檢測。這使得該系統(tǒng)能滿足半導(dǎo)體行業(yè)對高精密傳輸?shù)囊�，與漢諾的直線電機、壓電平臺等產(chǎn)品配合，可實現(xiàn)微米、亞微米乃至納米級的精準(zhǔn)控制，保障晶圓傳輸過程中的位置準(zhǔn)確性。
適配性廣泛是其另一大優(yōu)勢。EFEM 晶圓傳輸系統(tǒng)可與多種高精密自動化設(shè)備搭配，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)節(jié)。漢諾與哈工大、桂林理工大學(xué)等進(jìn)行產(chǎn)學(xué)研合作，不斷優(yōu)化系統(tǒng)設(shè)計，使其能適配不同規(guī)格的晶圓處理設(shè)備，如光刻機、蝕刻機、薄膜沉積設(shè)備等，滿足不同場景下的傳輸需求。
穩(wěn)定性方面，該系統(tǒng)充分體現(xiàn)漢諾對高穩(wěn)定性的追求。通過優(yōu)質(zhì)材料選擇和結(jié)構(gòu)優(yōu)化，系統(tǒng)能在長時間運行中保持穩(wěn)定性能，減少因設(shè)備波動帶來的生產(chǎn)影響。這一特性讓其深入?yún)⑴c到半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中，與眾多 TOP 企業(yè)建立深度合作。
此外，作為直線電機源頭生產(chǎn)廠家，漢諾能提供定制化服務(wù)。針對不同客戶的具體需求，可對 EFEM 晶圓傳輸系統(tǒng)進(jìn)行調(diào)整，從材料選擇到功能設(shè)計，提供適配的解決方案。這種靈活性使其在半導(dǎo)體、激光等領(lǐng)域得到廣泛認(rèn)可，也讓漢諾積累了大量老客戶，80% 的業(yè)績來自返單和轉(zhuǎn)介紹，側(cè)面印證了 EFEM 晶圓傳輸系統(tǒng)的可靠優(yōu)勢。
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