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半導體使用氦氣
美國能源研究學會在一份說明中解釋說：“氦氣是一種惰性氣體，很難和其他成分起反應，這讓其成為半導體制造中很理想的材料。在硅片周遭裹上惰性氣體，可以避免出現(xiàn)意料之外的反應。另外，由于氦氣具有高導熱性，它還能高效散熱，這可以在半導體制造過程中降低硅片的溫度，能讓半導體的體積變得更小。”