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顆粒測試(PARTICLE COUNTING)
在工藝應用中的高純氣體中如果含有顆粒污染物會削弱甚至破壞晶圓的回路。顆粒測試可以檢查在高純氣體管
道中的顆粒污染物。激光探測器可以出色的完成對 VMB，氣瓶柜，氣體盤面和高純氣體管路的顆粒檢查任務(wù)。也
可以提供對大宗氣體，包括應用中的工藝氮氣，氦氣，氫氣，氧氣和氬氣系統(tǒng)的顆粒檢查。
特氣管道顆粒測試驗收標準：
參考標準：GB 50646-2011 特種氣體系統(tǒng)工程技術(shù)規(guī)范
1.特種氣體系統(tǒng)顆粒測試時，其氣體流量應由管道直徑確定；
2.測試氣源的顆粒數(shù)應在規(guī)定顆粒直徑狀態(tài)為零；
3.測試氣體中大于0.1~0.3微米的顆粒數(shù)應≤35顆粒/m³；連續(xù)3次達標為合格。
