高純度制氮機的基本組成 

高純度制氮機由空壓機、壓縮空氣凈化系統(tǒng)、氧氮分離（PSA）系統(tǒng)、氮氣緩沖系統(tǒng)、氣體過濾系統(tǒng)及電氣控制系統(tǒng)組成 

(1)空壓機，空氣壓縮機采用螺桿式，內(nèi)含冷凍干燥器和過濾器，對壓縮空氣在進入制氮機之前進行預處理，除去壓縮空氣中大部分水分和異物。 

(2)壓縮空氣凈化系統(tǒng)，其由二級過濾器、除油器、空氣儲罐組成。其中，二級過濾器作用是除去空氣中的塵埃和水等，為氧氮分離系統(tǒng)提供潔凈空氣；除油器置于空氣儲罐內(nèi)，其作用除去壓縮空氣中的油，防止污染分子篩；空氣儲罐的作用是保證氧氮分離系統(tǒng)的平穩(wěn)，而部分處理過的潔凈空氣可引為儀表氣或驅(qū)動氣閥之用。

(3)氧氮分離（PSA）系統(tǒng)，其由二個交替工作的吸附塔（內(nèi)置分子篩）和氣動閥、減壓閥、調(diào)節(jié)閥及消聲器等組成。根據(jù)碳分子篩對空氣中氧組分的選擇吸附特性，在加壓吸附和降壓脫附過程中實現(xiàn)氮氧分離。 

(4)氮氣緩沖系統(tǒng)，由緩沖罐、流量計、調(diào)壓閥、節(jié)流閥、電磁閥及氮氣純度分析儀等組成，其作用使輸出氮氣的壓力、純度及流量保持穩(wěn)定。同時，在吸附塔開始升壓吸附時，緩沖罐內(nèi)的一部分氣體回充到吸附塔中，提高吸附塔的壓力，并將未完全吸附的氣體趕到塔底部，經(jīng)過進一步的吸附后再注入緩沖罐。而經(jīng)在位氮氣純度分析儀測定氮氣純度，并將信號反饋到控制元件。 

(5)氣體過濾系統(tǒng)，其采用二級無菌過濾，使氮氣產(chǎn)品達到GMP或相應工藝要求。 

(6)電氣控制系統(tǒng)，由可編程控制器、觸摸屏、氣動控制元件及儀表等組成，用于監(jiān)視設備相應的運行，特別是變壓吸附過程均由可編程控制器按程序控制電磁閥，并由相應電磁閥控制相應的氣動閥達到自動運行。