激光干涉儀可對(duì)機(jī)床、三測(cè)機(jī)及各種定位裝置進(jìn)行高精度的（位置和幾何）精度校正，并可完成按標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量各項(xiàng)參數(shù)，如線形位置精度、重復(fù)定位精度、角度、直線度、垂直度、平面度及平行度等。另外，它還具有若干為機(jī)床廠商和用戶所歡迎的選擇功能，如自動(dòng)螺距誤差補(bǔ)償（適用大多數(shù)控系統(tǒng)），機(jī)床動(dòng)態(tài)特性測(cè)量與評(píng)估，回轉(zhuǎn)坐標(biāo)分度精度標(biāo)定，觸發(fā)脈沖輸入、輸出功能等。
激光干涉儀的功能有以下幾方面：
1.自動(dòng)螺距誤差補(bǔ)償。激光干涉儀不僅能自動(dòng)測(cè)量機(jī)器的位置精度，而且還能通過(guò)RS232接口使計(jì)算機(jī)和數(shù)控系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)通信，對(duì)誤差進(jìn)行自動(dòng)補(bǔ)償。它比通常的手工補(bǔ)償方法節(jié)省了大量的時(shí)間，同時(shí)可*大限度地選用被測(cè)軸上的補(bǔ)償點(diǎn)數(shù)，使機(jī)床達(dá)到*佳精度。
2.回轉(zhuǎn)坐標(biāo)精度標(biāo)定�；剞D(zhuǎn)坐標(biāo)分度精度標(biāo)定可對(duì)數(shù)控轉(zhuǎn)臺(tái)在任意角度位置，以任意測(cè)量間隔進(jìn)行自動(dòng)測(cè)量及補(bǔ)償。
3.機(jī)床動(dòng)態(tài)特性測(cè)試與評(píng)估。利用中圖動(dòng)態(tài)特征測(cè)量與評(píng)估軟件，可用干涉儀進(jìn)行杌床振動(dòng)測(cè)試與分析、滾珠絲杠的動(dòng)態(tài)特性分析、伺服驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析、導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性（低速爬行）分析等，從而幫助用戶對(duì)機(jī)器源進(jìn)行分析。
4.觸發(fā)脈沖輸入、輸出功能。利用觸發(fā)脈沖輸入，可實(shí)現(xiàn)外部控制激光干涉儀記錄數(shù)據(jù)，從而可實(shí)現(xiàn)類(lèi)似于激光絲杠動(dòng)態(tài)精度檢查儀的功能或機(jī)床傳動(dòng)鏈精度檢查功能。利用觸發(fā)脈沖輸出，可用激光干涉儀定時(shí)或定距發(fā)出脈沖，從而實(shí)現(xiàn)類(lèi)似于激光光刻機(jī)的功能。
5.其他用戶接口裝置。可用中圖公司提供的特殊接口軟件，對(duì)于現(xiàn)有某些品牌的電子水平儀或數(shù)字指示儀器的用戶，配合校準(zhǔn)軟件，實(shí)現(xiàn)直線度、平面度及垂直度等幾何精度的檢測(cè)，從而節(jié)省用戶投資費(fèi)用。
性能參數(shù)
系統(tǒng)性能
² 測(cè)量方式：?jiǎn)晤l
² 穩(wěn)頻精度：0.05ppm
² 動(dòng)態(tài)采集頻率：50 kHz
² 預(yù)熱時(shí)間：5-10分鐘
² 工作溫度范圍：0~40℃
² 環(huán)境溫度范圍：0~40℃
² 存儲(chǔ)溫度范圍：-20℃~70℃
環(huán)境補(bǔ)償示值誤差
² 空氣溫度傳感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
² 材料溫度傳感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
² 空氣濕度傳感器：±6% (0-95%)
² 大氣壓力傳感器：±1mBar (mbar)
線性測(cè)量
² 測(cè)量距離：0-40m
² 測(cè)量精度：0.5ppm (0-40℃)
² 測(cè)量分辨率：1nm
² 測(cè)量*大速度：4m/sec
角度測(cè)量
² 軸向量程：0-15m
² 測(cè)量范圍：±10°
² 測(cè)量精度：±0.6%R±0.5±0.1M μm/m（M為光學(xué)鏡移動(dòng)距離，單位：m）
² 測(cè)量分辨率：0.1μm/m
直線度測(cè)量
² 軸向量程：0.1-4.0 m
² 測(cè)量范圍：±2.5 mm
² 測(cè)量精度：±0.5% R±0.5±0.15M2 μm（M為光學(xué)鏡移動(dòng)距離，單位：m）
² 測(cè)量分辨率：0.01μm
垂直度測(cè)量
² 測(cè)量范圍：±3/M mm/m
² 測(cè)量精度：±0.5% R±2.5±0.8M μm/m（M為光學(xué)鏡移動(dòng)距離，單位：m）
² 測(cè)量分辨率：0.01μm/m
平面度測(cè)量
² 軸向量程：0-15 m
² 測(cè)量范圍：±1.5 mm
² 測(cè)量精度：±0.6% R±0.02 M2 μm/m（M為光學(xué)鏡移動(dòng)距離，單位：m）
² 測(cè)量分辨率：0.1μm
回轉(zhuǎn)軸分度精度測(cè)量
² 角度測(cè)量范圍：0-360°
² 精密轉(zhuǎn)臺(tái)角度增量：5°
² 精密轉(zhuǎn)臺(tái)分度精度：±1秒
² 精密轉(zhuǎn)臺(tái)重復(fù)性：0.2秒
