一、產(chǎn)品簡(jiǎn)介
PA-LASI系列單軸加速度傳感器用于測(cè)量單軸向加速度的傳感器。它采用高精度MEMS芯片,具有BIMOS信號(hào)限制電路。設(shè)計(jì)考慮多用戶的需求,制造采用表貼工藝技術(shù)。具有高可靠性和高封裝堅(jiān)固性,并具有自檢測(cè)功能,可實(shí)現(xiàn)BIT檢測(cè)。 本產(chǎn)品可用于汽車測(cè)控、慣性導(dǎo)航、飛行器安全系統(tǒng)、地震監(jiān)控、傾斜、速度和位置的慣性、振動(dòng)和沖擊試驗(yàn)臺(tái)加速度的測(cè)量等系統(tǒng)中。
二、產(chǎn)品原理
PA-LASI系列沖擊加速度傳感器是建造在硅晶片頂部的表面MEMS多硅結(jié)構(gòu)。多晶硅簧片懸浮在晶片表面的結(jié)構(gòu),并提供一個(gè)克服加速度感應(yīng)力的阻力。用包含兩個(gè)獨(dú)立的固定板和一個(gè)與運(yùn)動(dòng)質(zhì)塊相連的中央板形成的差動(dòng)電容器機(jī)構(gòu)來測(cè)量比例于加速度的多硅結(jié)構(gòu)的偏轉(zhuǎn),從而產(chǎn)生電壓輸出信號(hào)。
三、技術(shù)參數(shù)
技術(shù)參數(shù)
加速度
A x
輸入電壓(Vdc)
+12±5%Vdc
輸入電流(mA)
10mA
測(cè)量范圍注
±50g
刻度因數(shù)(mV/g)
40±5
滿量程輸出電壓(V)
0~5V內(nèi)
零偏電壓(V)
2.5±0.1V
非線性度(%FS)
≤0.2%FR
啟動(dòng)時(shí)間(ms)
<10ms
帶寬注
0~8000Hz(-3dB)
交叉偶合
<±3%
可靠性
MTBF 10萬小時(shí)
工作溫度
-40℃~+85℃
沖擊
不供電,0.5ms
10000g
供電,0.5ms
10000g
重量
30g
.外形尺寸
28*28*16和35×35×25mm3詳見5.外形尺寸圖
注:測(cè)量范圍可選:±2g、±5g、±10g、±20g、±50g、±100g、±250g和±500g;
可選≤20KHz的任一帶寬值;
四、引線定義
電纜長(zhǎng)度50公分
電纜色別Pin
定義
1
電源、信號(hào)地Ground
2
加速度計(jì)Axout
5
殼體地Case GND
6
+12V VDD
其余
懸空
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