一.SJ6000激光干涉儀概述
SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品采用高穩(wěn)頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)、高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊、幾何參量干涉光路設(shè)計(jì)、高精度激光干涉信號(hào)處理系統(tǒng)、高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù)，實(shí)現(xiàn)各種參數(shù)的高精度測(cè)量。通過激光熱穩(wěn)頻控制技術(shù)，實(shí)現(xiàn)快速(5~10分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗干擾能力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出，采用不同的光學(xué)鏡組與激光配合，得到不同的干涉信號(hào)，然后通過高精度激光干涉信號(hào)處理系統(tǒng)得到干涉數(shù)據(jù)，將數(shù)據(jù)通過計(jì)算機(jī)進(jìn)行顯示和動(dòng)態(tài)分析。
SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品具有測(cè)量精度高、測(cè)量速度快、*高測(cè)速下分辨率高、測(cè)量范圍大等優(yōu)點(diǎn)。通過與不同的光學(xué)組件結(jié)合，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測(cè)量。在相關(guān)軟件的配合下，還可以對(duì)數(shù)控機(jī)床進(jìn)行動(dòng)態(tài)性能檢測(cè)，如可以測(cè)量數(shù)控機(jī)床的定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度等動(dòng)態(tài)參量，可以進(jìn)行機(jī)床振動(dòng)測(cè)試與分析，滾珠絲桿的動(dòng)態(tài)特性分析，驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析等，具有高的精度和效率，而且及時(shí)處理數(shù)據(jù)，為機(jī)床誤差修正提供依據(jù)。
二.SJ6000激光干涉儀功能特點(diǎn)
1. 測(cè)量精度高：以激光干涉技術(shù)為核心，分辨率可達(dá)納米級(jí)；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，解決溫度、空氣壓力、相對(duì)濕度、材料溫度等環(huán)境因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響；使用激光熱穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，保證激光長(zhǎng)期穩(wěn)頻精度；干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì)，避免干涉鏡受熱變形，保證干涉光路穩(wěn)定。
2. 具有實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度等幾何量的檢測(cè)功能。可以檢測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等；同時(shí)也能檢測(cè)運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度；并且可滿足回轉(zhuǎn)軸分度精度的測(cè)量。
3. 可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表，滿足機(jī)床誤差修正的要求。
4. 具有動(dòng)態(tài)測(cè)量（位移-時(shí)間曲線、速度-時(shí)間曲線、加速度-時(shí)間曲線）及測(cè)量振幅和頻率分析的功能，可進(jìn)行機(jī)床振動(dòng)測(cè)試與分析，滾珠絲桿的動(dòng)態(tài)特性分析，驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析等。
5. 內(nèi)置各種類國(guó)標(biāo)（GB）、ISO（國(guó)際）、BS（英制）、美標(biāo)、DIN（德標(biāo)）、JIS（日標(biāo)）等機(jī)床檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)。可依據(jù)各種機(jī)床標(biāo)準(zhǔn)分析處理數(shù)據(jù)，并根據(jù)測(cè)量結(jié)果可打印相應(yīng)的曲線圖和報(bào)告。
6. 可自動(dòng)監(jiān)測(cè)環(huán)境溫度、材料溫度、環(huán)境濕度和大氣壓力的參數(shù)�？蛇x擇手動(dòng)或自動(dòng)對(duì)波長(zhǎng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。
7. 測(cè)量記錄采用集中式數(shù)據(jù)庫(kù)管理，可按被測(cè)件類型、生產(chǎn)單位、出廠編號(hào)、檢定員、送檢單位、設(shè)備編號(hào)、檢定日期和有效日期等查詢和管理檢定記錄；可將檢定數(shù)據(jù)輸出到Word、Excel、AutoCAD（選配）文檔。
8. 安裝方便：基本重量為15kg，簡(jiǎn)單便攜。
三.SJ6000激光干涉儀原理
中圖SJ6000激光干涉儀發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡，然后分成兩道光束，一道光束（參考光束）射向連接分光鏡的反射鏡，而第二道透射光束（測(cè)量光束）則通過分光鏡射入第二個(gè)反射鏡，這兩道光束再反射回到分光鏡，重新匯聚之后返回激光器，其中會(huì)有一個(gè)探測(cè)器監(jiān)控兩道光束之間的干涉（見圖）。若光程差沒有變化時(shí)，探測(cè)器會(huì)在相長(zhǎng)性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號(hào)。若光程差有變化時(shí)，探測(cè)器會(huì)在每一次光程變化時(shí)，在相長(zhǎng)性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號(hào)，這些變化會(huì)被計(jì)算并用來測(cè)量?jī)蓚�(gè)光程之間的差異變化。
四.
1.激光干涉儀是檢定數(shù)控機(jī)床、坐標(biāo)測(cè)量機(jī)位置精度的理想工具。檢定時(shí)可按照規(guī)定標(biāo)準(zhǔn)處理測(cè)量數(shù)據(jù)并打印出誤差曲線，為機(jī)床的修正提供可靠依據(jù)。
2.激光干涉儀配有各種附件，可測(cè)量小角度、平面度、直線度、 平行度、垂直度等形位誤差，在現(xiàn)場(chǎng)使用尤為方便。
3.激光干涉儀可方便地安裝在測(cè)長(zhǎng)機(jī)上，取代原測(cè)長(zhǎng)機(jī)的坐標(biāo)系統(tǒng)，作為一般計(jì)量室中的長(zhǎng)度基準(zhǔn)。
4.激光干涉儀又是一種高精度的位移傳感器，可直接安裝于坐標(biāo)鏜、螺絲磨等精密機(jī)床及坐標(biāo)測(cè)量機(jī)上作為坐標(biāo)系統(tǒng)，使定位精度大為提高。
5.激光干涉儀具有對(duì)光柵、磁柵、線紋尺、感應(yīng)同步器等精密測(cè)量元件的檢測(cè)和刻劃功能，儀器可按預(yù)定的間距自動(dòng)完成檢測(cè)和刻劃工作。
6.激光干涉儀與圓分度器結(jié)合使用是一套高精度長(zhǎng)度—角度比相計(jì)，可作為機(jī)床傳動(dòng)鏈，絲桿螺旋線等誤差的測(cè)量系統(tǒng)。
