系列臭氧發(fā)生器工藝流程：

液氧站、氧氣瓶經(jīng)減壓閥、減壓穩(wěn)壓后進(jìn)入臭氧發(fā)生器，再經(jīng)氣動開關(guān)閥后進(jìn)入臭氧放電室。在臭氧放電室內(nèi)的中頻高壓電場內(nèi)，部分氧氣變成臭氧，產(chǎn)品氣體為臭氧化氣體，經(jīng)溫度、壓力、流量監(jiān)測后，再經(jīng)氣動調(diào)節(jié)球閥由臭氧出氣口排出。每臺臭氧放電室出氣管路上設(shè)有臭氧取氣口，并裝有取樣閥，每個設(shè)備的取氣管分別通過各自的發(fā)生臭氧濃度儀檢測臭氧出氣濃度。