大流量氣體配比柜是一種用于將不合規(guī)格氣體混合物的濃度調(diào)節(jié)到目標(biāo)濃度的動(dòng)態(tài)氣體混合方法。利用第一流量控制裝置來(lái)調(diào)節(jié)氣體的流速,利用第二流量控制裝置來(lái)控制平衡氣體的流速,以便產(chǎn)生處于目標(biāo)濃度的最終混合氣體。
主要是通過(guò)多組的氮?dú)鈿怏w質(zhì)量流量控制器來(lái)集中化控制氣體的進(jìn)氣量,是一款高靈敏度的設(shè)備,集快速、可靠、靈敏及易于操作為一身,適用于各種氣體的集中控制。通過(guò)與物聯(lián)網(wǎng)數(shù)據(jù)的連接,能遠(yuǎn)程操作、顯示和控制流量數(shù)據(jù)。