低真空裝置如真空輸送、真空浸漬、真空過濾、真空單調(diào)、真空脫氣（鋼水處置）等懇求具有工作壓力高、排氣量大的低真空泵抽

氣機(jī)組，這類低真空抽氣機(jī)組主泵常用往復(fù)式真空泵、油封式真空泵、水蒸氣放射泵、水環(huán)泵、羅茨泵等。運(yùn)用的低真空抽氣機(jī)組

還需根據(jù)被抽氣體清潔程度、濕度或其他特殊懇求，配置必要的除塵器、單調(diào)罐等部件。

水蒸氣在緊縮過程中會凝結(jié)成水滴，并與泵混合構(gòu)成懸浮液，不只會使真空度降落，也能使泵腔與轉(zhuǎn)子生銹，破壞密封面，使泵的

極限真空度降落。為此，防止水蒸氣對機(jī)械泵的污染很重要。防止的措施有：

（1）選用帶有氣鎮(zhèn)裝置的油封機(jī)械泵；

（2）裝油分別器、離心式分別器或油水分別器，將混有水的機(jī)械泵油中止處置，處置過的油再流入泵中運(yùn)用；

（3）運(yùn)用吸水性強(qiáng)的單調(diào)劑；

（4）運(yùn)用液氮冷阱，不只能有效地吸附水蒸氣，同時還可以阻撓機(jī)械泵油向高真空室返流。

油擴(kuò)散泵真空系統(tǒng)污染與防治

油擴(kuò)散泵真空系統(tǒng)是運(yùn)用最普遍的真空系統(tǒng)，其獲得真空度范圍為1.3×10^-3 ～1.3×10^-5 Pa。油擴(kuò)散泵真空系統(tǒng)構(gòu)成的各類真空

裝置，長期運(yùn)用后，常見的缺點(diǎn)是真空度抽不上去，或真空度抽不到原來的極限真空水平。與真空室內(nèi)壁的油蒸氣污染、真空工藝

過程各種污染物的污染有關(guān)，防止的辦法是：

（1）定期清洗真空室；

（2）定期對油封機(jī)械真空泵和油金屬擴(kuò)散泵中止清洗。

節(jié)能真空泵-珂勒曦螺桿真空泵，單極突破0.1pa極限真空，可長時間運(yùn)行，并且針對國內(nèi)高溫差、高濕度、高粉塵環(huán)境做了針對性優(yōu)化，更適應(yīng)國內(nèi)的各類工況環(huán)境，實際應(yīng)用實現(xiàn)更低故障率，更低能耗，更高能效。廣泛應(yīng)用于電子光伏、包裝行業(yè)、真空模擬、風(fēng)洞實驗和造紙與印刷等各種生產(chǎn)行業(yè)。