六甲基二硅氮烷

簡  稱 HMDS

別  名 六甲基二硅胺烷 | 雙（三甲基硅）胺烷

外文名 HEXAMETHYLDISILAZANE

分子式 (CH3)3SiNHSi(CH3)3

分子量 161.39

CAS號 999-97-3

EINECS 213-668-5

密  度 0.770—0.780 

折光率 1.408±0.002

閃  點 27℃

沸  點 126℃ 

色  度 ≤10

性　狀 無色透明液體、略帶胺味

溶解性 溶于有機溶劑

用　途：

1.特種有機合成。硅藻土、白炭黑、鈦等粉末的表面處理。半導(dǎo)體工業(yè)中光致刻蝕劑的粘結(jié)助劑。

2.為阿米卡星藥用中間體，是羥基及氨基保護劑

3.用于生產(chǎn)橡膠、藥物。該品是消減氣相色譜載體表面吸附活的減尾劑。

4.堿性硅烷化保護劑，無機填料處理劑