數(shù)模雙通訊的氣體質量流量控制器DC系列氣體質量流量計和控制器能用來測量單一氣體的結構，緊湊的氣體質量流量計和控制器能用來測量和控制多種氣體高度集成的定制閥組。主要的技術優(yōu)點：基于熱式毛細管技術，模塊化的設計；極其緊湊的尺寸；高精度，線性和重復性穩(wěn)定；快速響應時間；多種氣體/多量程范圍可選。