雙通訊熱式氣體質(zhì)量流量控制器：熱式質(zhì)量流量計測量氣體的質(zhì)量流量，采用加熱元件和溫度傳感器的組合，使用熱力學(xué)原理推導(dǎo)實際流量。溫度、壓力或密度變化需要少量校正并且很精確，尤其是在測量小流量時。質(zhì)量流量控制器的電磁閥是調(diào)節(jié)閥, 不是截止閥, 不能當(dāng)截止閥使用, 用戶應(yīng)另配截止閥。特別是用戶使用腐蝕性氣體，通常應(yīng)該在質(zhì)量流量控制器進(jìn)出氣口各加一個截止閥，以保證工作安全。