背壓法檢漏是將壓有一定壓力的示蹤氣體的被檢件放入檢漏夾具中,然后連至檢漏儀將其抽空,示蹤氣體通過漏孔泄漏出來,經(jīng)檢漏儀檢測總泄漏量。
小型電子器件宜采用這種檢漏方法。首先將儀器調(diào)整好,再將器件放入加壓罐內(nèi)壓入氦氣,氦氣進(jìn)入有漏孔的器件內(nèi)部,無漏孔的器件只是表面吸咐氦氣。器件加壓壓力和時間根據(jù)GB2423,2328文件而定,器件從加壓罐中取出后將表面吸咐的氦氣吹掉再放入檢漏夾具中抽空,待真空抽至設(shè)定值后自動將夾具連至儀器的測量系統(tǒng)。這時,壓入存在漏孔器件內(nèi)部的氦氣泄漏出來被檢測,其漏率在漏率表上顯示出來。一般背壓法檢漏時采用排除法。在夾具中放一定數(shù)量的器件,這一批的總漏率沒超過報廢預(yù)定值,說明這一批合格;總漏率超過報廢預(yù)定值可以取出一半,剩下的一半繼續(xù)檢漏,這一半合格說明有漏的器件在取出的那一半中,依此檢漏直至檢出有漏孔的器件。
這種檢漏方法有時也會出現(xiàn)漏檢。這是因為那些存在大漏孔的器件在放入檢漏夾具前氦氣已經(jīng)放完,所以通常在背壓法檢漏之前須對器件進(jìn)行粗檢。
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