TDR系列探針臺包括探針臺面板，探針架，高精度探針定位器，恒溫樣品臺，樣品位移系統(tǒng)，顯微成像系統(tǒng)等組成，模塊化設(shè)計，后期方便升級滿足不同應(yīng)用要求

可用于12寸以內(nèi)樣品測試

探針臺整體位移分辨率3μm，樣品XYZR四維調(diào)節(jié)

兼容多種光學(xué)顯微鏡，可以引入光路，完成光電mapping測試

探針采用進(jìn)口交叉滾珠導(dǎo)軌，線性移動，無回程差設(shè)計

PID控溫，可加熱至300℃，控溫精度±1℃，有效區(qū)域溫度均勻性±5℃

1微米以上電極/PAD使用

加寬探針架，可以放置6個DC探針座/4個RF探針座

全系列搭配顯微鏡XY精密移動功能，可以選配多種位移行程以及驅(qū)動形式

多被用于科研院校搭建測試系統(tǒng)，例：材料電學(xué)測試系統(tǒng)、光電探測器光電響應(yīng)系統(tǒng)、光電Mapping測試系統(tǒng)、憶阻器與神經(jīng)元系統(tǒng)等