COMDEL射頻電源維修康戴爾高頻電源CLX2750
美國COMDEL電源維修常見型號包括:CLX2750;CLX2500;CLX-600H;CX600AS;CX-5000S;CX-3500S;CX-2500S;CV500;CDX2000等。
Comdel成立于1966年,總部設在馬薩諸塞州格洛斯特,為半導體,薄膜,光伏,平板和工業(yè)加熱行業(yè)設計和制造射頻和直流電源和過程儀器。 產品包括射頻發(fā)生器,直流發(fā)電機,阻抗匹配網絡,多通道合成器和靜電卡盤電源等。
維修范圍:刻蝕、RIE、平行板、ICP、pecvd、射頻濺射、CVD 和PVD等系統(tǒng),工業(yè)系統(tǒng)中感應加熱和電介質加熱設備的電源,烘干、塑化、硅晶體生長和平板顯示器領域應用電源,直流偏壓和硬鍍膜,信息設備(ITE)及輕工業(yè)系統(tǒng)、鍍膜設備。 從事大功率射頻RF電源及匹配器維修,為太陽能光伏、半導體、液晶面板、鍍膜行業(yè)維修PVD、CVD、PECVD、MOCVD、ION IMP設備電源,包括直流、高壓、脈沖、微波、匹配器、RPSC、CHILLER射頻電源維修。
當濾波電容上無380VDC左右電壓時,說明PFC電路沒有正常工作,PFC模塊關鍵檢測腳為電源輸入腳VC,啟動腳Vstart/control,C/RT腳及V0腳。,測試一板上濾波電容上無380VDC電壓。VC,Vstart/control,C/RT波形以及V0波形均正常,測量場效應功率開關管無V0波形,由于FA5331(PFC)為貼片元件,機器用久后出現V0端與板之間虛焊,V0信號沒有送到場效應管。將V0端與板上焊點焊好,用萬用表測量濾波電容有380VDC電壓。當Vstart/control端為低電平時,PFC亦不能工作,則要檢測其端點與外部相連的有關電路。