真空泵機組主泵羅茨泵的選擇主要考慮其抽速的大小，由于VPD設(shè)備對達到工作真空度所需要抽氣時間的要求并不很嚴(yán)格，真空泵機組所以主泵抽速的選擇范圍很寬.一般是根據(jù)高真空階段真空罐內(nèi)漏、放氣總量除以最終工作真空度而得到.實踐中.一般可按主泵的額定抽速(L/s)為真空罐容積(L)的1%左右估算預(yù)選。

因為真空罐的冷態(tài)極限真空度(1Pa)和最終工作真空度(10Pa)要求并不高，所以選用羅茨泵配 前級泵的真空系統(tǒng)是完全可以的.不過近年來VPD設(shè)備更多地采用了雙級羅茨泵真空系統(tǒng)，即在主級羅茨泵和前級泵之間加裝一個中間級羅茨泵，目的是進一步縮短抽氣時間，提高工作真空度和降低對主泵性能的要求。主級羅茨泵與中間級羅茨泵的抽速比在(2:1)~(4:1)范圍.按一般真空系統(tǒng)配泵規(guī)律處理即可。VPD設(shè)備所用羅茨泵的特殊之處是被抽氣體中有少量煤油蒸氣并且溫度較高。選泵時應(yīng)特別注明.使制造廠在確定羅茨泵轉(zhuǎn)子間隙、選擇泵內(nèi)密 封材料的過程中加以專門考慮。另外.一般選用帶有旁通閥的羅茨泵。

真空泵設(shè)備-珂勒曦螺桿真空泵，單極突破0.1pa極限真空，可長時間運行，并且針對國內(nèi)高溫差、高濕度、高粉塵環(huán)境做了針對性優(yōu)化，更適應(yīng)國內(nèi)的各類工況環(huán)境，實際應(yīng)用實現(xiàn)更低故障率，更低能耗，更高能效。廣泛應(yīng)用于電子光伏、包裝行業(yè)、真空模擬、風(fēng)洞實驗和造紙與印刷等各種生產(chǎn)行業(yè)。