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掃描電子顯微鏡測試

測試項目:

1:形貌、能譜點掃、能譜線掃、能譜面掃(mapping)

2:儀器放大倍數(shù)范圍是100倍-20W倍,常規(guī)樣品可以拍攝到8-10W倍,導(dǎo)電性不好或磁性樣品大于8W倍可能會不清晰。
3:能譜:SEM能譜一般只能測C(含C)以后的元素,(B元素也能做,但是不準,不建議做)如果需要打能譜,需要備注好測試位置以及能譜打哪些元素,需要注意的是制樣時待測元素不能與基底成分有重合,如果要測C元素,樣品不要分散到含C的基底上,可以分散到硅片,錫紙上,如果要測Si元素,注意不要制樣到硅片上。

(1)要求樣品無毒、無放射性、干燥無污染、熱穩(wěn)定性好、耐電子束轟擊。保證測試人員安全;

(2)樣品必須干燥,不含水分或有機揮發(fā)物;

(3)樣品必須具有穩(wěn)定的化學(xué)性質(zhì)和物理性質(zhì),在高能電子束的輻照下保持成分穩(wěn)定和形態(tài)不變;

(4)樣品觀察面應(yīng)清潔,無污染物,同時觀察面應(yīng)盡量平整;

(5)樣品必須具有良好的導(dǎo)電性和導(dǎo)熱性,在電子束轟擊下不易被分解,熱穩(wěn)定性高;

(6)磁性樣品要預(yù)先去磁,以免觀察時電子束受到磁場的影響;

(7)樣品可以是粉末、薄膜、塊體,無論是表面還是新斷開的斷口或斷面,一般不需要進行處理,以保持其原始的結(jié)構(gòu)狀態(tài)。

樣品量的要求:粉末、液體、薄膜、塊體均可測試,粉體樣品大概10mg,塊體樣品要求長寬≤25px,厚度≤25px,樣品質(zhì)量不超過200g;混凝土,珊瑚沙,氣凝膠等需要抽真空時間非常長的樣品尺寸請盡可能直徑≤5mm,厚度≤5mm;

(8)塊體:直接用導(dǎo)電膠粘在樣品臺上測試,若需拍塊體/薄膜截面,需明確截面制備方法,一般可以提供剪刀裁剪和液氮脆斷兩種方式;薄膜或塊狀標(biāo)記好要測試的面(正面和反面),制樣方式有特殊需求請說明    

(9)液體:用移液槍取樣品超聲后的懸濁液,滴一滴于硅片或錫紙上,自然風(fēng)干/紅外燈烘干,烘干后將硅片或錫紙用導(dǎo)電膠粘在樣品臺上測試;液體常規(guī)滴到硅片上自然晾干或烘干測試(樣品不能加熱請?zhí)崆罢f明)

(10)粉末:(1)直接用導(dǎo)電膠粘在樣品臺上測試(盡量薄且均勻的將樣品粘在導(dǎo)電膠上,薄鋪一層。);(2)乙醇分散制樣:取少量樣品于離心管中,加入 一定量無水乙醇(或水),室溫超聲 5-10min,隨后采用 (2)中液體的制樣方式制樣測試。(如需分散測試請?zhí)崆罢f明)

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