WD4000無圖晶圓檢測機(jī)

發(fā)布時間：2023-10-18 15:23:56,加入時間:2015年11月17日(距今3531天)
地址:中國»廣東»深圳:深圳市南山區(qū)西麗南山智園B1棟2樓
公司:深圳市中圖儀器股份有限公司,用戶等級:普通會員已認(rèn)證
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WD4000無圖晶圓檢測機(jī)自動測量 Wafer 厚度、表面粗糙度、三維形貌、單層膜厚、多層膜厚。使用光譜共焦對射技術(shù)測量晶圓 Thickness 、TTV 、LTV 、BOW 、WARP 、TIR 、SORI 等參數(shù)，同時生成 Mapping 圖；采用白光干涉測量技術(shù)對 Wafer 表面進(jìn)行非接觸式掃描同時建立表面 3D 層析圖像，顯示 2D 剖面圖和 3D 立體彩色視圖，高效分析表面形貌、粗糙度及相關(guān) 3D 參數(shù)；基于白光干涉圖的光譜分析儀，通過數(shù)值七點(diǎn)相移算法計算，達(dá)到亞納米分辨率測量表面的局部高度，實現(xiàn)膜厚測量功能；紅外傳感器發(fā)出的探測光在 Wafer不同表面反射并形成干涉，由此計算出兩表面間的距離（即厚度），可適用于測量 Bonding Wafer 的多層厚度。該傳感器可用于測量不同材料的厚度，包括碳化硅、藍(lán)寶石、氮化鎵、硅等。

產(chǎn)品優(yōu)勢

1、非接觸厚度、三維維納形貌一體測量

集成厚度測量模組和三維形貌、粗糙度測量模組，使用一臺機(jī)器便可完成厚度、TTV 、LTV、

BOW 、 WARP 、粗糙度、及三維形貌的測量。

2、高精度厚度測量技術(shù)

采用高分辨率光譜共焦對射技術(shù)對 Wafer 進(jìn)行高效掃描。

搭配多自由度的靜電放電涂層真空吸盤，晶圓規(guī)格可支持至 12 寸。

采用 Mapping 跟隨技術(shù)，可編程包含多點(diǎn) 、線、面的自動測量。

3、高精度三維形貌測量技術(shù)

采用光學(xué)白光干涉技術(shù) 、精密 Z 向掃描模塊和高精度 3D 重建算法，Z 向分辨率高可到 0. 1nm；

隔振設(shè)計降低地面振動和空氣聲波振動噪聲，獲得高測量重復(fù)性。

機(jī)器視覺技術(shù)檢測圖像 Mark 點(diǎn)，虛擬夾具擺正樣品，可對多點(diǎn)形貌進(jìn)行自動化連續(xù)測量。

4、大行程高速龍門結(jié)構(gòu)平臺

大行程龍門結(jié)構(gòu) (400x400 x75mm)，移動速度 500mm/s。

高精度花崗巖基座和橫梁，整體結(jié)構(gòu)穩(wěn)定、可靠。

關(guān)鍵運(yùn)動機(jī)構(gòu)采用高精度直線導(dǎo)軌導(dǎo)引、AC 伺服直驅(qū)電機(jī)驅(qū)動，搭配分辨率 0. 1μm 的光柵

系統(tǒng)，保證設(shè)備的高精度、高效率。

5、操作簡單、輕松無憂

集成 XYZ 三個方向位移調(diào)整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺平移、 Z 向聚焦等測量前

準(zhǔn)工作。

具備雙重防撞設(shè)計，避免誤操作導(dǎo)致的物鏡與待測物因碰撞而發(fā)生的損壞情況。

具備電動物鏡切換功能，讓觀察變得快速和簡單。

應(yīng)用場景

1、無圖晶圓厚度、翹曲度的測量

通過非接觸測量，將晶圓上下面的三維形貌進(jìn)行重建，強(qiáng)大的測量分析軟件穩(wěn)定計算晶圓厚度、粗糙度、總體厚度變化(TTV),有效保護(hù)膜或圖案的晶片的完整性。

2、無圖晶圓粗糙度測量

Wafer減薄工序中粗磨和細(xì)磨后的硅片表面3D圖像，用表面粗糙度Sa數(shù)值大小及多次測量數(shù)值的穩(wěn)定性來反饋加工質(zhì)量。在生產(chǎn)車間強(qiáng)噪聲環(huán)境中測量的減薄硅片，細(xì)磨硅片粗糙度集中在5nm附近，以25次測量數(shù)據(jù)計算重復(fù)性為0.046987nm，測量穩(wěn)定性良好。

懇請注意：因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要，本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會根據(jù)實際情況隨時更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請諒解。

部分技術(shù)規(guī)格

型號 WD4200

厚度和翹曲度測量系統(tǒng)

可測材料砷化鎵、氮化鎵、磷化鎵、鍺、磷化銦、鈮酸鋰、藍(lán)寶石、硅、碳化硅、玻璃等

測量范圍

150μm~2000μm

測量參數(shù) 厚度、TTV(總體厚度變化) 、LTV 、BOW、WARP 、平面度、線粗糙度

三維顯微形貌測量系統(tǒng)

測量原理白光干涉

測量視場 0.96mm×0.96mm

可測樣品反射率