NE-PE150F是一款大型工業(yè)用真空等離子處理系統，設備配備大功率、大腔體、密度大、高穩(wěn)定性，適用于大規(guī)模連續(xù)生產。設備采用進口品牌高性能真空泵快速產生超低的真空壓強。同時根據客戶工藝要求，對真空反應腔室內通入不同的混合工藝氣體，采用進口高品質等離子發(fā)生器，使得通入的工藝氣體產生等離子體，并確保穩(wěn)定產生高密度，高能量的離子。等離子體與材料發(fā)生復雜的物理，化學反應，可以實現不同的工藝功能，比如清洗，活化，刻蝕與涂敷等。等離子態(tài)顯著的特點是高均勻性輝光放電，根據不同氣體發(fā)出從藍色到深紫色的色彩可見光。

v 抽真空系統包含真空泵、真空測量儀、真空管道等。

v 真空泵抽真空時間≤60S，真空度可達20PA以內。

v 工作真空度：20-30Pa，可自動進行壓力控制。

v 破真空時間：≤30s。

v 真空探測儀采用電阻式皮拉尼真空計，使用壽命長，探測精準。

v 真空管道采用316不銹鋼材質穩(wěn)定可靠。

設備優(yōu)勢

ü 腔體采用進口鋁合金材質，無金屬污染；

ü 通過COMSOL專業(yè)仿真模擬測試，結合多次驗證結果，得到最優(yōu)腔體結構設計，保證清洗效果和均勻性；

ü 每層極板配備托盤，有效避免離子濺射，保證處理可靠性；

ü CCP放電模式，全自動匹配RF射頻電源；

ü 獨特的腔體進氣系統，進氣均勻，保證電離效果均勻性；

ü 出廠前氦氣檢漏儀撿漏，保證腔體密封性；

ü 進氣、抽氣、破真空全獨立系統，且破真空系統可接氮氣，確保腔體氣體清潔性；

ü 真空泵出口加裝排氣裝置、過濾器。