產(chǎn)品信息：

主體材質(zhì)采用航空鋁合金，表面噴砂氧化，良好的機(jī)械性能，高強(qiáng)度，耐磨

位移部分采用進(jìn)口交叉滾珠導(dǎo)軌，超高穩(wěn)定性

整體驅(qū)動(dòng)采用進(jìn)口高分辨率差動(dòng)微分頭，分辨率高達(dá)0.7μm

匹配多功能調(diào)節(jié)夾具，可以180°旋轉(zhuǎn)+精密60°定向傾斜，適用于在顯微鏡下定向調(diào)節(jié)探針，不阻擋視野

底部超強(qiáng)可調(diào)磁性底座，可以通過(guò)旋鈕調(diào)節(jié)磁力的有無(wú)，磁性吸附10Kg，保證了扎針?lè)�(wěn)定性

可以升級(jí)真空吸附，搭配真空泵，7L/min

技術(shù)參數(shù)：

探針位移行程：XYZ三維分別13mm+180°旋轉(zhuǎn)+精密60°角度傾斜（可鎖緊）

整體結(jié)構(gòu)外形尺寸：300mm×82mm×120mm（LWH）

探針位移精度：0.7μm

漏電精度：同軸線纜（10pA）

進(jìn)口三同軸線纜（100fA）

可選接頭：同軸線纜可選擇BNC、鱷魚(yú)夾、香蕉插頭、N型、SMA等

進(jìn)口三同軸線纜可選擇三同軸接口(Triaxial)

測(cè)量范圍：電流：10pA/100fA-10A

電壓：≤1400V

適用于R/F量測(cè)、I/O點(diǎn)量測(cè)、直流DC測(cè)試 、晶圓測(cè)試、電阻電壓測(cè)試、太陽(yáng)能電池測(cè)試、光電流測(cè)試、半導(dǎo)體器件分析測(cè)試等