BDD-S030數(shù)字雙通訊的熱式氣體質(zhì)量流量控制器：熱式氣體質(zhì)量流量控制器/流量計(jì)作為新型的氣體流量調(diào)節(jié)控制裝置主要是利用流動(dòng)流體傳遞熱量改變測(cè)量毛細(xì)管壁溫度分布的熱傳遞分布效應(yīng)而制成，即熱分布式流量計(jì)，采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測(cè)量氣體的質(zhì)量流量，可以不受溫度壓力的影響。將傳感器測(cè)得的流量信號(hào)進(jìn)行放大，然后與設(shè)定的電壓進(jìn)行比較，用所得的差值信號(hào)去驅(qū)動(dòng)控制調(diào)節(jié)閥門，通過(guò)閉環(huán)，去控制流過(guò)通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。分流器在主通道和毛細(xì)管間產(chǎn)生層流，控制輸出的流量檢測(cè)電壓與流過(guò)通道的流量成比例。