刻蝕機是一種用于微納加工的技術(shù)設(shè)備，‌主要用于在材料表面去除特定部分，‌以形成所需的微納結(jié)構(gòu)。‌ 刻蝕機通過物理撞擊或化學(xué)反應(yīng)的方式，‌精確地控制和調(diào)整材料的去除，‌是實現(xiàn)微電子、‌光電子等領(lǐng)域中微納結(jié)構(gòu)制造的關(guān)鍵設(shè)備之一。‌根據(jù)工作原理和使用的技術(shù)不同，‌刻蝕機可以分為多種類型，‌包括干法刻蝕機和濕法刻蝕機。‌