刻蝕機是一種通過化學或物理手段將某些材料表面局部去除的設備,從而獲得所需的細微結構或器件?涛g機在微電子、納米技術、生物芯片等領域得到廣泛應用。
刻蝕機主要通過在目標材料表面進行化學或物理反應,使其形成模板、圖案或其他細微結構。在化學刻蝕中,刻蝕液中的氣體或物質(zhì)與材料表面反應,發(fā)生離子交換將目標物質(zhì)清除。在物理刻蝕過程中,則使用離子束或光束照射目標材料,通過因子打擊去除所需結構。
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刻蝕機主要通過在目標材料表面進行化學或物理反應,使其形成模板、圖案或其他細微結構。在化學刻蝕中,刻蝕液中的氣體或物質(zhì)與材料表面反應,發(fā)生離子交換將目標物質(zhì)清除。在物理刻蝕過程中,則使用離子束或光束照射目標材料,通過因子打擊去除所需結構。
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