鍍膜機是一種用于在物體表面覆蓋一層薄膜的技術設備,廣泛應用于物理學、化學、機械工程等多個領域。鍍膜機通過在真空條件下,采用等離子技術或其他方法,制備出純度高的金屬膜、化合物膜等,適用于半導體、顯示、光伏、工具鍍膜、裝飾鍍膜、功能鍍膜等多種應用。
鍍膜機的主要工作原理包括蒸發(fā)鍍膜和濺射鍍膜兩種方式。在蒸發(fā)鍍膜過程中,通過加熱靶材使表面組分以原子團或離子形式被蒸發(fā)出來,并沉降在基片表面,通過成膜過程形成薄膜。而在濺射鍍膜過程中,利用電子或高能激光轟擊靶材,使表面組分以原子團或離子形式被濺射出來,并最終沉積在基片表面,形成薄膜。
鍍膜機的應用范圍非常廣泛,包括但不限于:
物理學和化學領域:用于工藝試驗,制備有機材料和金屬材料的薄膜。 機械工程領域:用于制備高熔點氧化物、金屬材料薄膜,以及在光學儀器的寬帶減反射膜、激光硬膜反射鏡等方面的應用。 其他領域:還包括顯示技術、半導體制造、光伏技術等,以及工具鍍膜、裝飾鍍膜和功能鍍膜等方面。