真空閥是一種用于控制真空系統(tǒng)的閥門,廣泛應(yīng)用于真空工業(yè)領(lǐng)域,例如半導(dǎo)體、光電、食品加工、醫(yī)療等領(lǐng)域。它的主要作用是控制氣體或液體在真空管路中的流動(dòng),調(diào)節(jié)真空度,保證系統(tǒng)的穩(wěn)定性和正常運(yùn)行。
真空閥的工作原理通常是通過(guò)控制閥門開(kāi)啟和關(guān)閉來(lái)實(shí)現(xiàn)氣體或液體在管路中的流動(dòng)。根據(jù)控制方式不同,真空閥可以分為手動(dòng)閥、電磁閥、氣動(dòng)閥、膜閥等多種類型。