一、納米干冰半導(dǎo)體清洗設(shè)備原理

以顆粒狀的干冰作為清洗介質(zhì),通過(guò)壓縮空氣將干冰微粒高速噴向清洗物表面,使清洗物表面的污垢冷凍至脆化并爆裂,干冰微粒通過(guò)撞擊作用滲透到污垢及基層材料之間,隨即升華,體積瞬時(shí)增大800倍,迫使污垢與基層材料脫離,達(dá)到清洗的目的。

二、納米干冰半導(dǎo)體清洗設(shè)備參數(shù)

型號(hào) 光學(xué)零件清洗機(jī)WMGB02
外形尺寸 500×900×1200
重量 60Kg
電源 AC220V 50Hz 單相
功率 3.5kW

CO2噴射系統(tǒng)

CO2 氣態(tài)/液態(tài)
CO2壓力 ≥1MPa
噴嘴規(guī)格 0.1mm~4mm
CO2消耗量 50~200g/min
CO2恒溫系統(tǒng)
介質(zhì) 水/制冷劑
容量 4L
溫度調(diào)節(jié)范圍 室溫~10℃

CO2增壓系統(tǒng)

驅(qū)動(dòng)介質(zhì) 壓縮空氣
驅(qū)動(dòng)氣壓 0.1~0.8MPa
增壓比 1:15
增壓量 320L/min

CDA輔助系統(tǒng)

CDA氣體 壓縮空氣/氮?dú)?br /> CDA壓力 0.1~0.8MPa
CDA溫度調(diào)節(jié) 標(biāo)配