德國(guó)AS球形砂輪用于芯片制造-碳化硅球體或硅錠:
芯片制造的步總是從裸晶體制備出優(yōu)質(zhì)的晶圓。這始于對(duì)碳化硅球體或硅錠進(jìn)行成型,這些硅錠后來(lái)必須被研磨并準(zhǔn)備進(jìn)行晶圓切割。在過(guò)程中優(yōu)化吞吐量和周期時(shí)間是至關(guān)重要的。球體的終表面光潔度對(duì)于確保從中生產(chǎn)的晶圓具有均勻的厚度和平整度至關(guān)重要。
德國(guó)AS球形砂輪特點(diǎn):
1.使用我們的玻璃結(jié)合和混合結(jié)合金剛石砂輪,確保均勻的厚度和平整度,從而實(shí)現(xiàn)優(yōu)越的切割性能和一致的磨削效果。
2.超光滑表面和長(zhǎng)的輪廓穩(wěn)定性
Meister Abrasives的金剛石研磨工具通過(guò)其粘結(jié)系統(tǒng)幾乎沒(méi)有氣孔,能夠以小的表面粗糙度和無(wú)碎片來(lái)實(shí)現(xiàn)光滑且無(wú)缺陷的表面光潔度。這確保了從 boule 制成的晶圓具有均勻的厚度和平整度,這對(duì)于實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量的半導(dǎo)體設(shè)備至關(guān)重要。沒(méi)有劃痕、凹坑或其他缺陷對(duì)于實(shí)現(xiàn)佳表面質(zhì)量和避免后續(xù)加工步驟中的任何并發(fā)癥是至關(guān)重要的。由于具有自銳化功能,Meister Abrasives的砂輪表現(xiàn)出更長(zhǎng)的輪廓穩(wěn)定性和更長(zhǎng)的砂輪壽命。
3.用鉆石進(jìn)行鑄錠和球形塑造
為了實(shí)現(xiàn)均勻的厚度和平整度且沒(méi)有亞表面損傷,Meister Abrasives的工程師開(kāi)發(fā)了具有鉆石顆粒的超硬磨具,這些磨具集成在玻璃粘結(jié)劑和混合粘結(jié)劑矩陣中。
德國(guó)AS球磨輪有以下技術(shù)可供選擇:UltraCut DIA 和 CleanCut DIA。
德國(guó)AS球形砂輪優(yōu)勢(shì):
超光滑表面
小芯片
長(zhǎng)輪廓穩(wěn)定性
延長(zhǎng)工具壽命
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