熱場均勻性控制采用多溫區(qū)獨(dú)立PID算法,溫差控制在±0.5℃范圍內(nèi),通過CFD流體仿真優(yōu)化風(fēng)道結(jié)構(gòu),解決傳統(tǒng)烘箱邊緣效應(yīng)問題
潔凈度保障體系配備HEPA+ULPA雙重過濾系統(tǒng),顆粒物控制達(dá)ISO Class3標(biāo)準(zhǔn),腔體采用電拋光不銹鋼材質(zhì),表面粗糙度Ra≤0.4μm
能效比突破引入余熱回收裝置降低30%能耗,紅外輻射加熱模塊響應(yīng)速度<5秒,較傳統(tǒng)電阻加熱節(jié)能42%
智能化升級集成MES系統(tǒng)接口實(shí)現(xiàn)配方云端管理,配備AI溫度預(yù)測模型,可提前15分鐘預(yù)警溫漂趨勢
特殊工藝適配開發(fā)氮?dú)猸h(huán)境烘烤模式(氧含量<10ppm),支持Invar鋼載具的磁性定位加熱,滿足3D封裝工藝需求