LFHS3 運(yùn)動(dòng)范圍XYZ(µm) 75 75 50 分辨率XYZ(nm) 0,075 0,075 0,05 典型的噪聲基準(zhǔn)XYZ(nm) 0,0075 0,0075 0,005 全方位的重復(fù)性XYZ(nm) 0,15 0,15 0,1 線性化(典型的) 0,02% 0,02% 0,02% 諧振頻率X / Y / Z(赫茲) 3000 2000 1500 剛度 X/Y/Z (N/µm) 4 3 3 最*負(fù)載(kg)-水平使用 1 最*負(fù)載(kg)-垂直使用 0,5 傳感器 Silicon HR sensor 尺寸W x L x H (mm) 140 x 121 x 33,6 材料 Al 電纜長度(m) 2 推*控制器 High Speed