JGS1、JGS2、JGS3 石英玻璃
——應(yīng)用領(lǐng)域全面解析
一、JGS1：深紫外光學(xué)與高精度系統(tǒng)
關(guān)鍵詞：真空紫外、低雜質(zhì)、高均勻性
1. 光刻技術(shù)（半導(dǎo)體制造）
應(yīng)用場(chǎng)景： 光刻機(jī)中 193nm ArF 準(zhǔn)分子激光 的透鏡窗口、棱鏡、均質(zhì)器 極紫外（EUV）光源輔助光學(xué)元件 要求： 在 193nm 波長(zhǎng)下透射率 >90%（1cm 厚度） 極低金屬雜質(zhì)（Fe <1ppm），防止光吸收和熱變形 高抗激光損傷閾值（LIDT），避免“灰霧”效應(yīng) 典型材料：JGS1（國(guó)產(chǎn)替代 Corning 7980、SCHOTT SUPRASIL 3001）2. 深紫外激光器
應(yīng)用場(chǎng)景： KrF（248nm）、ArF（193nm）準(zhǔn)分子激光腔體窗口 激光導(dǎo)光系統(tǒng)中的反射鏡基板、保護(hù)罩 要求： 能承受高能脈沖激光照射 低氣泡和條紋，防止光散射 優(yōu)勢(shì)：JGS1 的“干性”結(jié)構(gòu)（低OH⁻）減少紫外吸收和老化3. 真空紫外儀器
應(yīng)用場(chǎng)景： 同步輻射光源束線窗口 質(zhì)譜儀、光電子能譜（XPS/UPS）真空腔觀察窗 天文紫外探測(cè)器（如空間望遠(yuǎn)鏡） 波段需求：185nm–200nm 高透過(guò) 不可替代性：只有 JGS1 和進(jìn)口合成石英可滿(mǎn)足此波段要求4. 高能物理與核探測(cè)
應(yīng)用場(chǎng)景： 閃爍體探測(cè)器窗口（如NaI(Tl)、CsI(Tl)） 粒子加速器束流監(jiān)控窗口 要求： 高輻射穩(wěn)定性 低熒光背景，避免信號(hào)干擾二、JGS2：通用紫外工業(yè)設(shè)備
關(guān)鍵詞：殺菌、固化、性?xún)r(jià)比
1. 紫外線殺菌消毒
應(yīng)用場(chǎng)景： 水處理系統(tǒng)中的 石英套管（包裹UV燈管） 空氣凈化設(shè)備、消毒柜、流動(dòng)水殺菌裝置 波長(zhǎng)：254nm（低壓汞燈主峰） 要求： 在 254nm 處透射率 >85% 耐高溫（燈管表面可達(dá)600°C） 抗熱震、不易爆裂 常用類(lèi)型：JGS2（經(jīng)濟(jì)實(shí)用），高端設(shè)備用 JGS1 延長(zhǎng)壽命2. UV 固化技術(shù)
應(yīng)用場(chǎng)景： 印刷油墨、涂料、膠粘劑的紫外固化 PCB 曝光機(jī)、LED 固化設(shè)備 波長(zhǎng)：365nm（UV-A）、395nm、405nm 要求： 高可見(jiàn)光透過(guò)率，確保能量傳輸 耐長(zhǎng)期紫外照射，不發(fā)黃 材料選擇：JGS2 完全滿(mǎn)足，成本低，適合批量使用3. 紫外老化與環(huán)境測(cè)試
應(yīng)用場(chǎng)景： 紫外老化試驗(yàn)箱的觀察窗和燈管罩 模擬太陽(yáng)光老化測(cè)試設(shè)備 要求： 穩(wěn)定透射紫外光，不衰減 機(jī)械強(qiáng)度高，長(zhǎng)期運(yùn)行可靠4. 紫外光譜分析儀
應(yīng)用場(chǎng)景： 分光光度計(jì)、紫外可見(jiàn)分光儀的樣品池窗口 光學(xué)積分球內(nèi)壁材料 要求： 光學(xué)均勻性好，無(wú)雜散光 表面可拋光至光學(xué)級(jí)三、JGS3：紅外加熱與高溫環(huán)境
關(guān)鍵詞：紅外輻射、耐高溫、高OH⁻
1. 紅外加熱與熱處理
應(yīng)用場(chǎng)景： 半導(dǎo)體晶圓退火爐、擴(kuò)散爐的石英爐管 金屬熱處理、陶瓷燒結(jié)、晶體生長(zhǎng)設(shè)備 工作溫度：800°C – 1200°C 要求： 良好的紅外輻射性能（尤其在 2.7–3.5μm） 高熱穩(wěn)定性，抗熱震 成本低，適合大尺寸制造 優(yōu)勢(shì)：JGS3 含 OH⁻ 高，紅外發(fā)射率高，加熱效率優(yōu)于 JGS1/22. 紅外輻射器與取暖設(shè)備
應(yīng)用場(chǎng)景： 工業(yè)紅外加熱燈管（如碳纖維加熱管外罩） 家用取暖器、烤箱、烘干設(shè)備 原理： 通電加熱內(nèi)部發(fā)熱體，JGS3 管壁作為紅外輻射面 發(fā)出中遠(yuǎn)紅外線，直接加熱物體 材料選擇：JGS3 因其優(yōu)異的紅外透過(guò)和輻射特性成為首選3. 高溫觀察窗與保護(hù)罩
應(yīng)用場(chǎng)景： 冶金爐、玻璃熔窯、水泥窯的觀察窗口 高溫實(shí)驗(yàn)設(shè)備的可視面板 要求： 耐高溫、抗熱沖擊 保持一定可見(jiàn)光透過(guò)，便于監(jiān)控 注意：需定期清潔，防止金屬蒸氣沉積影響透光4. CO₂ 激光系統(tǒng)
應(yīng)用場(chǎng)景： 10.6μm 激光的輸出窗口、聚焦鏡基板 激光切割/焊接設(shè)備的防護(hù)鏡片 要求： 在 10μm 附近有良好紅外透過(guò) 可選用特殊低OH⁻處理的 JGS3 或進(jìn)口 INFRASIL® 注意：普通 JGS3 因 OH⁻ 吸收強(qiáng)，需定制低水峰型號(hào)四、跨領(lǐng)域綜合應(yīng)用
| 領(lǐng)域 | 應(yīng)用實(shí)例 | 類(lèi)型 |
|---|---|---|
| 光通信 | 光纖預(yù)制棒套管、光波導(dǎo)基板 | JGS1（高純度，低散射） |
| 航天航空 | 導(dǎo)彈整流罩窗口、衛(wèi)星傳感器保護(hù) | JGS1（耐輻照、紫外透過(guò)） |
| 新能源 | 太陽(yáng)能電池測(cè)試用標(biāo)準(zhǔn)光源窗口 | JGS2（模擬太陽(yáng)光譜紫外段） |
| 生物醫(yī)療 | PCR儀溫控模塊紅外加熱窗 | JGS3 |
| 智能制造 | 激光打標(biāo)機(jī)、切割機(jī)光學(xué)保護(hù)窗 | JGS1（高功率）或 JGS2（中低功率） |
| 環(huán)保監(jiān)測(cè) | 煙氣分析儀紫外吸收池窗口 | JGS1（用于SO₂、NOx檢測(cè)） |
