LTHS2 運(yùn)動(dòng)范圍XY(µm) 75 分辨率XY(nm) 0,075 典型的噪聲基準(zhǔn) XY(nm) 0,0075 全方位的重復(fù)性XY(nm) 0,15 線性化(典型的) 0,02% 諧振頻率X / Y(Hz) 1500/1000 剛度 (N/µm) 2/2 最da負(fù)載(kg)-水平使用 0,5 最da負(fù)載(kg)-垂直使用 0,3 傳感器 Silicon HR sensor 尺寸W x L x H (mm) 152,5 x 190 x 18,5 材料 Al 電纜長度(m) 2 推jian控制器 Standard or High Speed