臺(tái)面采用雙零級(jí)大理石，表面精度高，平面度高，穩(wěn)定性好

創(chuàng)譜大理石氣浮隔振平臺(tái)隔振基礎(chǔ)同樣采用精密囊式空氣彈簧隔離、減振液和高阻尼小孔，隔振性能良好

輕松調(diào)節(jié)，穩(wěn)定可靠結(jié)構(gòu)十分緊湊

自動(dòng)水平，自動(dòng)充氣，全部氣動(dòng)執(zhí)行元件，采用原裝德國FESTO產(chǎn)品

靜音空氣機(jī)氣源，噪聲低（小于65分貝）

技術(shù)參數(shù)

水平方式：自動(dòng)充氣，自動(dòng)平衡

表面粗糙度：＜0.08μm

固有頻率：垂直1.2Hz-1.8Hz，水平1.2Hz-1.8Hz

振幅：≤1.2μm

重復(fù)定位精度：±0.05mm

應(yīng)用

精密測(cè)量儀器 、醫(yī)療設(shè)備 、包裝機(jī)械 、精密電子元器件裝配 、光譜測(cè)量與校準(zhǔn) 、激光干涉 、光電儀器研發(fā)與測(cè)試 、精密機(jī)械制造