濕電子化學(xué)品是電子行業(yè)濕法制程的關(guān)鍵材料。濕電子化學(xué)品屬于電子化學(xué)品 領(lǐng)域的一個(gè)分支，是微電子、光電子濕法工藝制程（主要包括濕法蝕刻、清洗、顯 影、互聯(lián)等）中使用的各種液體化工材料。超凈高純?cè)噭┦窃谕ㄓ迷噭┗A(chǔ)上發(fā)展 起來的純度高的試劑，其雜質(zhì)含量較優(yōu)級(jí)試劑低幾個(gè)數(shù)量級(jí)。濕電子化學(xué)品是對(duì) “電子級(jí)試劑”、“超凈高純化學(xué)試劑”更為合理準(zhǔn)確的表達(dá)。國內(nèi)的超凈高純?cè)噭?在國際上通稱為工藝化學(xué)品（Process Chemicals）， 在美國、歐洲和我國臺(tái)灣地區(qū)稱 為濕化學(xué)品（Wet Chemicals），是指主體成分純度大于 99.99%，雜質(zhì)離子和微粒數(shù) 符合嚴(yán)格要求的化學(xué)試劑，其純度和潔凈度對(duì)電子元器件的成品率、電性能和可靠 性有十分重要的影響。
按照組成成分和應(yīng)用工藝不同，濕電子化學(xué)品可分為通用性和功能性濕電子化 學(xué)品。通用濕電子化學(xué)品以超凈高純?cè)噭橹鳎话銥閱谓M份、單功能、被大量使 用的液體化學(xué)品，按照性質(zhì)劃分可分為：酸類、堿類、有機(jī)溶劑類和其他類。酸類 包括氫氟酸、硝酸、鹽酸、硫酸、磷酸等；堿類包括氨水、氫氧化鈉、氫氧化鉀等；有機(jī)溶劑類包括甲醇、乙醇、乙酸乙酯等；其他類包括雙氧水等。功能濕電子化學(xué)品指通過復(fù)配手段達(dá)到特殊功能、滿足制造中特殊工藝需求的復(fù)配 類化學(xué)品，即在單一的超凈高純?cè)噭ɑ蚨喾N超凈高純?cè)噭┑呐浜希┗A(chǔ)上，加入 水、有機(jī)溶劑、螯合劑、表面活性劑混合而成的化學(xué)品。例如剝離液、顯影液、蝕 刻液、清洗液等。由于多數(shù)功能濕電子化學(xué)品是復(fù)配的化學(xué)品，是混合物，它的理 化指標(biāo)很難通過普通儀器定量檢測(cè)，只能通過應(yīng)用手段來評(píng)價(jià)其有效性。
