真空爐是一種在爐腔內利用真空系統(tǒng)將爐腔內部分物質排出，使爐腔內壓強小于一個標準大氣壓，從而實現(xiàn)爐腔內空間真空狀態(tài)的工業(yè)設備。‌ 它主要用于在無氧環(huán)境下進行高溫加熱和處理，具有防氧化、防燒損的優(yōu)勢，廣泛應用于金屬熱處理、玻璃制造、半導體制造等領域。真空爐的內部結構通常由高溫材料構成，如石英、金屬合金等，以保證其能夠耐受高溫環(huán)境。此外，真空爐還具有快速升溫和冷卻的能力，可以提高生產(chǎn)效率。