‌半干法脫硫工藝流程以濕態(tài)脫硫劑噴入與煙氣反應(yīng)，最終生成干態(tài)脫硫產(chǎn)物為核心，兼具濕法的高反應(yīng)效率和干法的低廢水排放優(yōu)勢。具體流程如下：

‌1. 煙氣預(yù)處理‌
煙氣首先經(jīng)過除塵、降溫等預(yù)處理，去除大顆粒粉塵并調(diào)整溫度至適合脫硫反應(yīng)的區(qū)間（通常為60-120℃）‌8。
‌2. 脫硫劑制備與噴入‌
脫硫劑（常用鈣基物質(zhì)如消石灰Ca(OH)₂或生石灰CaO）經(jīng)研磨制粉后，與水或蒸汽混合形成漿液或濕潤顆粒‌68。
濕潤的脫硫劑通過旋轉(zhuǎn)噴霧器或流化床裝置均勻噴入吸收塔，與煙氣充分接觸‌16。
‌3. 脫硫反應(yīng)‌
在吸收塔內(nèi)，SO₂與脫硫劑發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，生成硫酸鈣（CaSO₄）、亞硫酸鈣（CaSO₃）等固態(tài)產(chǎn)物。
此外，可能伴隨與CO₂、HCl等污染物的副反應(yīng)‌68。
‌4. 氣固分離與再循環(huán)‌
反應(yīng)后的煙氣攜帶固態(tài)產(chǎn)物進入除塵器（如布袋除塵器或電除塵器），分離出脫硫灰渣‌67。
部分未完全反應(yīng)的脫硫劑通過循環(huán)系統(tǒng)返回吸收塔，提高利用率（循環(huán)流化床工藝中循環(huán)比可達50倍以上）‌67。
‌5. 產(chǎn)物處理‌
收集的脫硫灰渣經(jīng)干燥、穩(wěn)定化處理后，可作為建筑材料或填埋處置‌