氫氣傳感器可以分為電阻型和非電阻型兩類(lèi)，前者以金屬氧化物半導(dǎo)體傳感器為典型代表，后者主要利用肖特基二極管或MOSFET進(jìn)行測(cè)量。其中，又以金屬氧化物半導(dǎo)體傳感器更為常見(jiàn)。該種傳感器有兩個(gè)電極，在兩個(gè)電極之間的襯底材料上涂一層金屬氧化物膜（例如氧化錫），該膜作為一種氫敏材料，與氫氣相互作用后其電導(dǎo)率會(huì)發(fā)生改變。因此，半導(dǎo)體導(dǎo)電率的變化可以作為氫氣濃度的量度。電學(xué)型氫氣傳感器具有成本低、壽命較長(zhǎng)、運(yùn)行功耗較低、可小型化等優(yōu)點(diǎn)，具有大規(guī)模應(yīng)用的潛力。但其對(duì)氫氣選擇性不強(qiáng)，容易受到水蒸氣等常見(jiàn)氣體的干擾，且存在運(yùn)行溫度較高、啟動(dòng)較慢、非線(xiàn)形、易被污染等問(wèn)題。

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