XBZN-1000/600 智能機(jī)器人拋光系統(tǒng)
可以實(shí)現(xiàn)大口徑平面、球面、非球面、離軸非球面和自由曲面等光學(xué)元件的確定性拋光加工，可加工光學(xué)元器件材料：涵蓋石英、玻璃、ULE、單晶硅、碳化硅、藍(lán)寶石、陶瓷等光學(xué)材料，以及銅、鋁、鎳等金屬材質(zhì)。
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技術(shù)參數(shù) |
XBZN-1000 |
XBZN-600 |
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加工元件類型 |
平面/球面/非球面/自由曲面等 |
平面/球面/非球面/自由曲面等 |
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加工元件外形 |
圓形/橢圓/矩形/多邊形/內(nèi)開(kāi)異形孔形等 |
圓形/橢圓/矩形/多邊形/內(nèi)開(kāi)異形孔形等 |
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加工元件口徑 |
50mm~1000mm |
50mm~600mm |
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元件厚度 |
≤500mm |
≤500mm |
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拋光頭額定轉(zhuǎn)速 |
300rpm |
300rpm |
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工作臺(tái)直徑 |
1100mm |
700mm |
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壓力設(shè)置范圍 |
0~125N |
0~125N |
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壓力設(shè)置分辨率 |
±0.4N |
±0.4N |
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加工精度 |
平面RMS≤7nm/非球面RMS≤10nm |
平面RMS≤7nm/非球RMS≤10nm |
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拋光表面粗糙度 |
Ra≤1nm |
Ra≤1nm |
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表面光潔度 |
優(yōu)于I級(jí) |
優(yōu)于II級(jí) |
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位姿重復(fù)精度(ISO 9283) |
±0.05mm |
±0.03mm |
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機(jī)械臂負(fù)載能力 |
45Kg |
20Kg |
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外形尺寸 |
2800mm×1200mm×2500mm |
1600mm×1000mm×2200mm |
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機(jī)床重量(約) |
3.2T |
1.2T |
