一.產(chǎn)品簡介
SJ6000產(chǎn)品采用高穩(wěn)頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)、高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊、幾何參量干涉光路設(shè)計(jì)、高精度激光干涉信號處理系統(tǒng)、高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù)，實(shí)現(xiàn)各種參數(shù)的高精度測量。通過激光熱穩(wěn)頻控制技術(shù)，實(shí)現(xiàn)快速(5~10分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗干擾能力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出，采用不同的光學(xué)鏡組與激光配合，得到不同的干涉信號，然后通過高精度激光干涉信號處理系統(tǒng)得到干涉數(shù)據(jù)，將數(shù)據(jù)通過計(jì)算機(jī)進(jìn)行顯示和動態(tài)分析。
二.性能特點(diǎn)
1.測量精度高、速度快，穩(wěn)定性好
使用高性能氦氖激光器，結(jié)合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，達(dá)到高精度穩(wěn)頻(0.05ppm)
以光波長(633nm)為測量單位，分辨率可達(dá)nm級
使用高速光電信號采樣和處理技術(shù)，測量速度可達(dá)到4m/s。
配合有環(huán)境補(bǔ)償單元，在環(huán)境變化的情況下，也可以得到較高的測量精度
分離式干涉鏡設(shè)計(jì)，避免了測量鏡組由于主機(jī)發(fā)熱而引起的鏡組形變
2. 應(yīng)用范圍廣
可以實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測
結(jié)合我們的軟件系統(tǒng)，可以用于速度，加速度，振動分析以及穩(wěn)定度等分析
可實(shí)時監(jiān)控精密加工機(jī)床等機(jī)器的動態(tài)數(shù)據(jù)，進(jìn)行動態(tài)特性分析
3 軟件界面友好
使用當(dāng)前熱門的軟件界面開發(fā)工具，軟件界面人性化，操作簡單。
將靜態(tài)測量和動態(tài)測量兩種功能合并到一個軟件中，更方便用戶切換測量類型。
向?qū)讲僮鳎鞒糖逦�，更符合國�?nèi)用戶的使用習(xí)慣。
4 性價比高
性能達(dá)到了國外儀器的水準(zhǔn)，價格是國內(nèi)儀器的良心價
三.產(chǎn)品參數(shù)
系統(tǒng)性能
² 測量方式：單頻
² 穩(wěn)頻精度：0.05ppm
² 動態(tài)采集頻率：50 kHz
² 預(yù)熱時間：5-10分鐘
² 工作溫度范圍：0~40℃
² 環(huán)境溫度范圍：0~40℃
² 存儲溫度范圍：-20℃~70℃
環(huán)境補(bǔ)償示值誤差
² 空氣溫度傳感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
² 材料溫度傳感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
² 空氣濕度傳感器：±6% (0-95%)
² 大氣壓力傳感器：±1mBar (mbar)
線性測量
² 測量距離：0-40m
² 測量精度：0.5ppm (0-40℃)
² 測量分辨率：1nm
² 測量*大速度：4m/sec
角度測量
² 軸向量程：0-15m
² 測量范圍：±10°
² 測量精度：±0.6%R±0.5±0.1M μm/m（M為光學(xué)鏡移動距離，單位：m）
² 測量分辨率：0.1μm/m
直線度測量
² 軸向量程：0.1-4.0 m
² 測量范圍：±2.5 mm
² 測量精度：±0.5% R±0.5±0.15M2 μm（M為光學(xué)鏡移動距離，單位：m）
² 測量分辨率：0.01μm
垂直度測量
² 測量范圍：±3/M mm/m
² 測量精度：±0.5% R±2.5±0.8M μm/m（M為光學(xué)鏡移動距離，單位：m）
² 測量分辨率：0.01μm/m
平面度測量
² 軸向量程：0-15 m
² 測量范圍：±1.5 mm
² 測量精度：±0.6% R±0.02 M2 μm/m（M為光學(xué)鏡移動距離，單位：m）
² 測量分辨率：0.1μm
回轉(zhuǎn)軸分度精度測量
² 角度測量范圍：0-360°
² 精密轉(zhuǎn)臺角度增量：5°
² 精密轉(zhuǎn)臺分度精度：±1秒
² 精密轉(zhuǎn)臺重復(fù)性：0.2秒
