一.性能特點
1.測量精度高、速度快，穩(wěn)定性好
（1）使用高性能氦氖激光器，結(jié)合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，達到高精度穩(wěn)頻(0.05ppm)
（2）以光波長(633nm)為測量單位，分辨率可達nm級
（3）使用高速光電信號采樣和處理技術(shù)，測量速度可達到4m/s。
（4）配合有環(huán)境補償單元，在環(huán)境變化的情況下，也可以得到較高的測量精度
（5）分離式干涉鏡設(shè)計，避免了測量鏡組由于主機發(fā)熱而引起的鏡組形變
2. 應(yīng)用范圍廣
（1）可以實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測
（2）結(jié)合我們的軟件系統(tǒng)，可以用于速度，加速度，振動分析以及穩(wěn)定度等分析
（3）可實時監(jiān)控精密加工機床等機器的動態(tài)數(shù)據(jù)，進行動態(tài)特性分析
3.軟件界面友好
（1）使用當(dāng)前熱門的軟件界面開發(fā)工具，軟件界面人性化，操作簡單。
（2）將靜態(tài)測量和動態(tài)測量兩種功能合并到一個軟件中，更方便用戶切換測量類型。
（3）向?qū)讲僮�，流程清晰，更符合國�?nèi)用戶的使用習(xí)慣。
4 性價比高
性能達到了國外儀器的水準(zhǔn)，價格是國內(nèi)儀器的良心價。
二.用途
產(chǎn)品具有測量精度高、測量速度快、*高測速下分辨率高、測量范圍大等優(yōu)點。通過與不同的光學(xué)組件結(jié)合，可以實現(xiàn)對直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測量。在相關(guān)軟件的配合下，還可以對數(shù)控機床進行動態(tài)性能檢測，如可以測量數(shù)控機床的定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度等動態(tài)參量，可以進行機床振動測試與分析，滾珠絲桿的動態(tài)特性分析，驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析等，具有高的精度和效率，而且及時處理數(shù)據(jù)，為機床誤差修正提供依據(jù)。
三.原理
發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡，然后分成兩道光束，一道光束（參考光束）射向連接分光鏡的反射鏡，而第二道透射光束（測量光束）則通過分光鏡射入第二個反射鏡，這兩道光束再反射回到分光鏡，重新匯聚之后返回激光器，其中會有一個探測器監(jiān)控兩道光束之間的干涉（見圖）。若光程差沒有變化時，探測器會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號。若光程差有變化時，探測器會在每一次光程變化時，在相長性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號，這些變化會被計算并用來測量兩個光程之間的差異變化。
四.內(nèi)置標(biāo)準(zhǔn)
ISO230-2 老版國際標(biāo)準(zhǔn)
IS 新版國際標(biāo)準(zhǔn)
ANSI B5.54 美國國家標(biāo)準(zhǔn)
ASME B89.1.12M 美國機械工程師協(xié)會標(biāo)準(zhǔn)
NMTBA 美國機床協(xié)會標(biāo)準(zhǔn)
BS 3800 英國機床標(biāo)準(zhǔn)
BS 4656 英國三測機標(biāo)準(zhǔn)
JIS B6330 日本國家標(biāo)準(zhǔn)
GB 中國國家標(biāo)準(zhǔn)
VDI 3441 德國機床標(biāo)準(zhǔn)
五.技術(shù)參數(shù)
系統(tǒng)性能
² 測量方式：單頻
² 穩(wěn)頻精度：0.05ppm
² 動態(tài)采集頻率：50 kHz
² 預(yù)熱時間：5-10分鐘
² 工作溫度范圍：0~40℃
² 環(huán)境溫度范圍：0~40℃
² 存儲溫度范圍：-20℃~70℃
環(huán)境補償示值誤差
² 空氣溫度傳感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
² 材料溫度傳感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
² 空氣濕度傳感器：±6% (0-95%)
² 大氣壓力傳感器：±1mBar (mbar)
線性測量
² 測量距離：0-40m
² 測量精度：0.5ppm (0-40℃)
² 測量分辨率：1nm
² 測量*大速度：4m/sec
