一.性能特點(diǎn)
1.測(cè)量精度高、速度快，穩(wěn)定性好
（1）使用高性能氦氖激光器，結(jié)合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，達(dá)到高精度穩(wěn)頻(0.05ppm)
（2）以光波長(zhǎng)(633nm)為測(cè)量單位，分辨率可達(dá)nm級(jí)
（3）使用高速光電信號(hào)采樣和處理技術(shù)，測(cè)量速度可達(dá)到4m/s。
（4）配合有環(huán)境補(bǔ)償單元，在環(huán)境變化的情況下，也可以得到較高的測(cè)量精度
（5）分離式干涉鏡設(shè)計(jì)，避免了測(cè)量鏡組由于主機(jī)發(fā)熱而引起的鏡組形變
2. 應(yīng)用范圍廣
（1）可以實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測(cè)
（2）結(jié)合我們的軟件系統(tǒng)，可以用于速度，加速度，振動(dòng)分析以及穩(wěn)定度等分析
（3）可實(shí)時(shí)監(jiān)控精密加工機(jī)床等機(jī)器的動(dòng)態(tài)數(shù)據(jù)，進(jìn)行動(dòng)態(tài)特性分析
3.軟件界面友好
（1）使用當(dāng)前熱門的軟件界面開(kāi)發(fā)工具，軟件界面人性化，操作簡(jiǎn)單。
（2）將靜態(tài)測(cè)量和動(dòng)態(tài)測(cè)量?jī)煞N功能合并到一個(gè)軟件中，更方便用戶切換測(cè)量類型。
（3）向?qū)讲僮�，流程清晰，更符合�?guó)內(nèi)用戶的使用習(xí)慣。
4 性價(jià)比高
性能達(dá)到了國(guó)外儀器的水準(zhǔn)，價(jià)格是國(guó)內(nèi)儀器的良心價(jià)。
二.用途
產(chǎn)品具有測(cè)量精度高、測(cè)量速度快、*高測(cè)速下分辨率高、測(cè)量范圍大等優(yōu)點(diǎn)。通過(guò)與不同的光學(xué)組件結(jié)合，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測(cè)量。在相關(guān)軟件的配合下，還可以對(duì)數(shù)控機(jī)床進(jìn)行動(dòng)態(tài)性能檢測(cè)，如可以測(cè)量數(shù)控機(jī)床的定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度等動(dòng)態(tài)參量，可以進(jìn)行機(jī)床振動(dòng)測(cè)試與分析，滾珠絲桿的動(dòng)態(tài)特性分析，驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析等，具有高的精度和效率，而且及時(shí)處理數(shù)據(jù)，為機(jī)床誤差修正提供依據(jù)。
三.原理
發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡，然后分成兩道光束，一道光束（參考光束）射向連接分光鏡的反射鏡，而第二道透射光束（測(cè)量光束）則通過(guò)分光鏡射入第二個(gè)反射鏡，這兩道光束再反射回到分光鏡，重新匯聚之后返回激光器，其中會(huì)有一個(gè)探測(cè)器監(jiān)控兩道光束之間的干涉（見(jiàn)圖）。若光程差沒(méi)有變化時(shí)，探測(cè)器會(huì)在相長(zhǎng)性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號(hào)。若光程差有變化時(shí)，探測(cè)器會(huì)在每一次光程變化時(shí)，在相長(zhǎng)性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號(hào)，這些變化會(huì)被計(jì)算并用來(lái)測(cè)量?jī)蓚�(gè)光程之間的差異變化。
四.內(nèi)置標(biāo)準(zhǔn)
ISO230-2 老版國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)
IS 新版國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)
ANSI B5.54 美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)
ASME B89.1.12M 美國(guó)機(jī)械工程師協(xié)會(huì)標(biāo)準(zhǔn)
NMTBA 美國(guó)機(jī)床協(xié)會(huì)標(biāo)準(zhǔn)
BS 3800 英國(guó)機(jī)床標(biāo)準(zhǔn)
BS 4656 英國(guó)三測(cè)機(jī)標(biāo)準(zhǔn)
JIS B6330 日本國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)
GB 中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)
VDI 3441 德國(guó)機(jī)床標(biāo)準(zhǔn)
五.技術(shù)參數(shù)
系統(tǒng)性能
² 測(cè)量方式：?jiǎn)晤l
² 穩(wěn)頻精度：0.05ppm
² 動(dòng)態(tài)采集頻率：50 kHz
² 預(yù)熱時(shí)間：5-10分鐘
² 工作溫度范圍：0~40℃
² 環(huán)境溫度范圍：0~40℃
² 存儲(chǔ)溫度范圍：-20℃~70℃
環(huán)境補(bǔ)償示值誤差
² 空氣溫度傳感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
² 材料溫度傳感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
² 空氣濕度傳感器：±6% (0-95%)
² 大氣壓力傳感器：±1mBar (mbar)
線性測(cè)量
² 測(cè)量距離：0-40m
² 測(cè)量精度：0.5ppm (0-40℃)
² 測(cè)量分辨率：1nm
² 測(cè)量*大速度：4m/sec
