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六氟化硫的化學性質(zhì)非常穩(wěn)定，在空氣中不燃燒，不支撐燃燒，不與水、強堿、氨、鹽酸、等反應。SF6具有良好的熱穩(wěn)定性，在常溫或高溫狀態(tài)下不會發(fā)生，SF6的熱分解溫度約為500°c，但由于特定金屬的存在，SF6的穩(wěn)定性大大降低，其熱分解溫度從°150結(jié)果超過200·氣溫達到150℃，六氟化硫開始慢慢變成氟化硅板硫化，六氟化硫在鋁或銅存在的情況下約200℃開始分解。250歲時，他開始與金屬鈉反應，生成氟化鈉。但是，在223°c時，將各種金屬放入六氟化硫氣體中進行270次測試的結(jié)果表明，腐蝕程度仍然可以忽略不計。