高低溫細絲爐體，硼擴磷擴工業(yè)爐主要用作半導體、功率器件、集成電路等行業(yè)中管式熱壁產品的加熱裝置。可與美國TEMPRESS、美國TYAN、美國THERMCO、荷蘭ASM、英國BTU、日本TEL等國外多種型號擴散爐配套（替代進口），采用國外先進的加工工藝，選用進口材料，制作而成�？捎糜�2-8英寸硅片的擴散工藝。
爐體為擴散爐提供熱能源
擴散爐主要用途是在高溫條件下對半導體晶圓進行摻雜，即將元素磷、硼擴散入硅片，從而改變和控制半導體內雜質的類型、濃度和分布，以便建立起不同的電特性區(qū)域。
同時還會在硅片表面生長一層二氧化硅膜，起到保護硅晶體的作用。而爐體作為擴散爐溫區(qū)控制核心部件，在爐體運行中起到至關重要的作用。
