濕氧恒溫柜
用戶手冊
一、設(shè)備簡介
1.1型號含義
型號：FHWG-JWG6P
含義：F福雪萊；HWG恒溫柜；JW加溫；G光電檢測液位；6P六個源瓶槽位
1.2柜體結(jié)構(gòu)圖
1.3主要功能
1.3.1為機臺做工藝提供濕氧（濕氧工藝）
說明：
1、裝有一定量超純水的源瓶水溫加熱到設(shè)定溫度并恒溫后，爐管方可做工藝；
2、工藝用氧氣先通入瓶內(nèi)水底鼓泡后再進(jìn)入爐管反應(yīng)室。（如下圖）
1.3.2源瓶加熱與恒溫
說明：
1、由PLC、溫控器、溫度探頭、固態(tài)繼電器、發(fā)熱組件、源瓶液位計等完成控制；
2、源瓶開關(guān)打開后(即自動運行)，如瓶內(nèi)水量達(dá)到低液位則加熱直到設(shè)定溫度并恒溫；
3、加熱異常、恒溫異常、溫度探頭異常、溫度異常均報警輸出。
1.3.3源管道伴熱與恒溫
說明：
1、由PLC、溫控器、溫度探頭、固態(tài)繼電器、伴熱帶等完成控制；
2、源瓶開關(guān)打開后(即自動運行)，如瓶內(nèi)水量達(dá)到低液位則加熱直到設(shè)定溫度并恒溫；
3、加熱異常、恒溫異常、溫度探頭異常、溫度異常均報警輸出。
1.3.4源瓶液位監(jiān)測
說明：
1、每個源瓶均安裝有高、低光電液位計（位置可調(diào)）；
2、正常使用時液位為低液位至高液位之間；
3、液位低于低液位為異常并報警輸出。
1.3.5源瓶壓力監(jiān)測及保護(hù)
說明：
1、每個源瓶均安裝有泄壓閥及壓力傳感器；
2、當(dāng)源瓶內(nèi)壓力≥設(shè)定壓力時，自動打開泄壓閥泄壓；
3、當(dāng)源瓶內(nèi)壓力持續(xù)≥設(shè)定壓力時，壓力異常報警輸出。
1.3.6源瓶定時換水
說明：
1、每個源瓶內(nèi)的水都可以通過設(shè)定時間周期性換水；
2、換水時需要滿足條件：自動運行+定時時間已到+工藝剛結(jié)束；
3、換水時需要先將瓶內(nèi)原水排干，利用氮氣加快地排水及吹掃；
4、源瓶排水的同時打開超純水過水閥進(jìn)行水質(zhì)檢測；
5、每次換完水自動重新計時；
6、水質(zhì)檢測合格后，方可往源瓶灌水。
1.3.7源瓶漏水監(jiān)測
說明：
1、柜內(nèi)源瓶分兩層放置，每層3個，每層一個接水盤，上下接水盤串接后引管到蓄水池；
2、接水盤管道上安裝非接觸式液位計；
3、當(dāng)源瓶漏水或爆裂時，水會流到接水盤順著管道流到蓄水池，液位計感應(yīng)到信號后發(fā)出報警。
1.3.8超純水水質(zhì)檢測
說明：
1、源瓶每次灌水時（包括手動操作）都需要xian進(jìn)行水質(zhì)檢測，合格之后才可以往源瓶內(nèi)灌水；
2、水質(zhì)檢測可以自動也可以手動，每過水5min后檢測一次，如合格則不再進(jìn)行過水檢測；
3、如水質(zhì)連續(xù)三次檢測不合格，發(fā)出水質(zhì)異常報警，需要人工確認(rèn)復(fù)位。
1.3.9超純水缺乏監(jiān)測
說明：
1、超純水管道進(jìn)入柜內(nèi)后分兩路走：一路去到源瓶的補水閥（源瓶灌水）；一路經(jīng)過水閥后接到蓄水池（水質(zhì)檢測過水）；
2、過水閥前面管道上安裝非接觸式液位計；
3、當(dāng)超純水缺乏時，液位計感應(yīng)到信號后發(fā)出報警。
1.3.10廢水收集與外排
說明：
1、源瓶換水時原水排放需要容器收容（蓄水池）；
2、超純水水質(zhì)檢測每次過水5min，需要容器收容（蓄水池）；
3、蓄水池上安裝電極式液位計及排水泵；
4、當(dāng)蓄水池液位上升到高液位時啟動排水泵外排廢水，排水泵也可以手動控制；
1.3.11異常、故障報警
說明：
1、當(dāng)設(shè)備發(fā)生任何異�；蚬收蠒r均發(fā)出報警；
2、報警的方式：a、蜂鳴器；b、顯示屏；c、傳上位機；
1.3.12與機臺信號對接
說明：
1、1～6#管工藝狀態(tài)信號，繼電器常開觸點，用于判斷是否在工藝；
2、1～6#管不工藝狀態(tài)信號，繼電器常開觸點，用于判斷工藝是否結(jié)束；
3、1～6#源瓶換水請求信號，繼電器常開觸點，直到換水完成，用于告知機臺源瓶在換水；
4、水質(zhì)合格信號，繼電器常開觸點，直到換水完成，用于告知機臺此次換水水質(zhì)檢測合格；
5、1～6#源瓶恒溫就緒信號，繼電器常開觸點，用于告知機臺換水完成且加熱恒溫可以開始做工藝；
6、1～6#源瓶溫度異常信號，繼電器常閉觸點，用于告知機臺該源瓶溫度波動異常；
7、1～6#源瓶高液位信號，繼電器常閉觸點，用于告知機臺該源瓶出現(xiàn)高液位；
8、1～6#源瓶低液位信號，繼電器常閉觸點，用于告知機臺該源瓶出現(xiàn)低液位；
9、源瓶漏水信號，繼電器常閉觸點，用于告知機臺柜內(nèi)有源瓶漏水；
1.4使用環(huán)境
1、地面平整，通風(fēng)良好；
2、周圍無強烈振動；
3、周圍無強電磁場影響；
4、周圍無易燃、易爆、腐蝕性物質(zhì)和粉塵；
5、周圍留有足夠的使用及維護(hù)空間；
6、環(huán)境溫度：10℃～45℃；
7、環(huán)境濕度：≤80%RH。
1.5技術(shù)參數(shù)
柜子
尺寸
1080（長）*650（寬）*1870（高）
重量
約270kg
內(nèi)置恒溫箱體
ABS工程塑料
設(shè)備外殼
A3鋼板+噴塑
觀察窗
內(nèi)嵌式高透明防爆鋼化玻璃
電源
設(shè)備電源
三相AC380V、50Hz
預(yù)裝總功率
3.5kW
源瓶
溫度采集
鉑電阻（PT100）
控溫范圍
70℃-90℃
溫度波動度
≤0.3℃
控溫方式
PID控制
加熱方式
PTC加熱器
加熱恒溫時間
45min
液位采集
光纖傳感器
液位點
高、低液位
源瓶個數(shù)
6個
源瓶容量
1.5-5L
水質(zhì)檢測指標(biāo)
電導(dǎo)率
換水時間
正常情況約10分鐘/次
換水方式
自動/手動
1.6應(yīng)用配置
二、二次配安裝
2.1電源：三相交流380V、50Hz、約3.5KW；
2.2空壓氣：6-8公斤壓力；
2.3氮氣：2-3公斤壓力；
2.4超純水進(jìn)水管：4/1鐵氟龍管；
2.5蓄水池排水管：內(nèi)徑8MM軟管；
2.6信號對接。
